電子廠房凈化工程施工常用指南 云南恒云凈化工程

好的潔凈車間設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入，而且可以給生產提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統中，FFU循環系統運行成本很低，潔凈度安全性很高，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環系統。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則潔凈室投資和運行成本越高，因此在大環境潔凈度或溫濕度要求相對較低的情況下，將一些關鍵的工藝設備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區域內是集成電路制造潔凈廠房的設計趨勢。第二種形式的設計可以滿足集成電路制造無塵車間大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。

工程的規劃首先要加強對設計單位設計凈化工程圖紙質量的外部監督與審查。充分發揮潔凈室圖紙審查中心的職能作用，像工程質監站監督施工質量一樣，審查、監督設計質量。潔凈工程圖紙的質量高低是關系到此潔凈工程的建造成本控制等一系列凈化工程重要控制目標能否達成之物。制訂設計獎懲制度。設計圖紙被審查中心確認為設計的應給設計單位以特殊榮譽，對設計人員實施獎勵。潔凈工程圖紙的質量高低是關系到此潔凈工程的建造成本控制等一系列凈化工程重要控制目標能否達成之物。

減少系統送風量：潔凈室內的送風量較之一般恒溫恒濕空調房間內的送風量大很多，設法減少系統的送風速度，可有效地節省處理空氣所耗用的能量，達到節能運行的目的；冷水盤管一般為下進上出，蒸汽盤管一般為上進下出，按標識接管，以避免接管錯誤。在滿足工藝條件的前提下，將室內橫斷面平均風速降低20%，此時房間的送風量大約可減少20%左右，這樣不僅減少了空氣處理所消耗的能量，而且也減少了輸送設備風機運行的耗電量。

1、潔凈廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的彩鋼板;

2、地面可采用環氧自流坪地坪或高等耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型;

3、送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板;

4、送風口宜用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔工業潔凈室：按照美國聯邦標準，潔凈室意味著：“房間里空氣的塵埃粒子數以及必要時其溫度，濕度、壓力都可以被控制”凈化房的主要目的是控制灰塵。