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發布時間:2021-06-24 07:05  





流量控制器分類
熱式質量流量器根據熱源及測溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種。
1.接觸式熱式質量流量器這種質量流量計的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內,與流體直接接觸,常被稱為托馬斯流量計,適于測量氣體的較大質量流量. 由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸,因此元件易受流體腐蝕和磨損,影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。測量高流速、有腐蝕性的流體時不宜選用,這是接觸式的缺點。倘若液體中含有懸浮顆粒物,抽濕過程可能會留下固體顆粒,從而導致質量流量計或質量流量控制器內留有殘渣。
2.非接觸式熱式質量流量器這種流量計的加熱及測溫元件都置于流體管道外,與被測流體不直接接觸,克服了接觸式的缺點。
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什么是流量控制器
質量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。舉個例子,容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內即為穩定。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
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流量控制器
對多數用戶而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量(如g/min),這個要求是很容易實現的。因為標準狀態下的氣體密度是一個常數, 可以方便地查到,因而簡單地做一個乘法(以密度乘以若干slm)即可實現。國際標草案ISO/DIS11451認為流量測量不受旋轉流和流速場剖面畸變影響。所以說,在標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。
怎樣選擇流量顯示單位?
我們的流量顯示儀一般提供三種流量顯示單位,即百分比﹑SCCM﹑SLM。出廠前根據用戶的要求設定。按百分比顯示的方式,即是將 MFM / MFC 的流量測量值按其占滿量程的百分比來顯示,例如,規格為50SCCM的MFM/MFC,當顯示值為80%時,實際的流量為40SCCM。③一定要避免超過使用質量流量控制器范圍的情況發生,這會引起儀表測量度的下降,嚴重時會導致儀表損壞。對任何一種規格的MFM/MFC,滿量程值都顯示為100%。這種方式通用性好,可配不同量程的MFM/MFC,但不直觀,有的用戶不習慣。
按 SCCM或 SLM顯示,出廠時對流量顯示的范圍與相應的MFM/MFC的量程進行匹配,使用時顯示值即是流量值,很直觀,符合習慣,為多數用戶所采用。 匹配好后,原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用,只是顯示值需要修正。