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發布時間:2020-11-11 13:47  





負性光刻膠原理
又稱光致抗蝕劑,是一種由感光樹脂、增感劑(見光譜增料)和溶劑三種主要成分組成的對光敏感的混合液體。
原理
光刻膠在接受一定波長的光或者射線時,會相應的發生一種光化學反應或者激勵作用。光化學反應中的光吸收是在化學鍵合中起作用的處于原子外層的電子由基態轉入激勵態時引起的。對于有機物,基態與激勵態的能量差為3~6eV,相當于該能量差的光(即波長為0.2~0.4μm的光)被有機物強烈吸收,使在化學鍵合中起作用的電子轉入激勵態。化學鍵合在受到這種激勵時,或者分離或者改變鍵合對象,發生化學變化。電子束、X射線及離子束(即被加速的粒子)注入物質后,因與物質具有的電子相互作用,能量逐漸消失。電子束失去的能量轉移到物質的電子中,因此生成激勵狀態的電子或二次電子或離子。這些電子或離子均可誘發光刻膠的化學反應。
光刻膠概況
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光刻膠又稱光致抗蝕劑,是光刻工藝的關鍵化學品,主要利用光化學反應將所需要的微細圖形從掩模版轉移到待加工基片上,被廣泛應用于光電信息產業的微細圖形線路的加工制作,下游主要用于集成電路、面板和分立器件的微細加工,同時在 LED、光伏、磁頭及精密傳感器等制作過程中也有廣泛應用,是微細加工技術的關鍵性材料。光刻膠的主要成分為樹脂、單體、光引發劑及添加助劑四類。其中,樹脂約占 50%,單體約占35%,光引發劑及添加助劑約占15%。
何為光刻膠
光刻膠又稱光致抗蝕劑,是一種具有光化學敏感性的功能性化學材料,由光引發劑、光刻膠樹脂、單體(活性稀釋劑)、溶劑和其他助劑組成的對光敏感的混合液體,其中,樹脂約占50%,單體約占35%。
它被稱為是電子化工材料中技術壁壘較高的材料之一,主要利用光化學反應將所需要的微細圖形從掩模版轉移到待加工基片上,被廣泛應用于光電信息產業的微細圖形線路的加工制作,下游主要用于集成電路、面板和分立器件的微細加工,同時在 LED、光伏、磁頭及精密傳感器等制作過程中也有廣泛應用。
按照下游應用,光刻膠可分為半導體用光刻膠、LCD用光刻膠、PCB(印刷線路板)用光刻膠等,其技術壁壘依次降低。
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