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淄博齊韻泵業科技有限公司技術力量雄厚、制造設備精良，并有完善的質量管理體系，可為用戶設計、制造不同類型的真空泵、水泵及設備機組。

水環式真空泵的優點

　　1）結構簡單，制造精度要求不高，容易加工。

　　2）結構緊湊，泵的轉數較高，一般可與電動機直聯，無須減速裝置。故用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。

　　3）壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。

　　4）由于泵腔內沒有金屬磨擦表面，無須對泵內進行潤滑，而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。

　　5）吸氣均勻，工作平穩可靠，操作簡單，維修方便。

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 干式真空泵是泵腔內動作，不會產生摩擦起火花，主要是看配的電機是否是防爆電機。干式泵真空度比較高價格相對較高，而水環真空泵用水做密封，真空度較差，價格較低。

干式泵也是有間隙的，氣體有個壓縮過程生熱，抽真空先形成負壓腔，抽到泵內氣體，還要有個壓縮過程排出去。氣體的體積變化，會有熱量。水環泵的因為泵里有水，其抽吸過程接近于等溫壓縮。

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　　為了保證水環真空泵運轉，就必須及時調整葉輪與前護板的間隙，金屬內襯泵葉輪與前護板間隙在0.5-1毫米之間，橡膠內襯泵葉輪與前后護套之間的間隙要相等。調節葉輪間隙時應當停泵，松開壓緊軸承組件的螺栓，擰調整螺栓上的螺母，使軸承組件向前移動，同時用手轉動軸按泵轉動方向旋轉，直到葉輪與前護板摩擦為止。

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有效稀釋有害氣體的濃度：

　　半導體易產生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應用中在抽取這些介質時就必須防止它們在真空泵內或者排氣過程中發生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質，在與空氣或氧接觸的時候，會引起燃燒甚至；氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發生燃燒。這些都取決于該物質的量以及與環境的壓力、溫度的關系。因此半導體真空泵在抽取這些介質時，需要用氮氣之類的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍。　　

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