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潔凈室的分類

層流式(Laminar)： 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。    優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。實際檢測過程中發現，在通過調節支管風閥對某間換氣次數不合格潔凈室進行送風量調節時，往往會使同一潔凈區其余的潔凈室送風量改變，即打亂了整個潔凈區的風量分配，從而使問題變得更為復雜。   缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

凈化工程——潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小?？筳un涂料墻面：清理墻面基層，基層刮膩子，面層噴抗jun涂料。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

凈化工程——氣壓規定

對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應符合以下原則：

1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。 3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。

壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。

凈化工程——無塵車間

所謂的無塵車間是一個人造的環境，里面含有的粒子遠低于一般的環境，隨著集成電路技術的快速成長，也增加了對制造環境(無塵車間)潔靜度的需求，在工業上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。 由于奈米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。過濾器的處理風量應小于或等于額定風量，設置在同一潔凈區內的gao效(亞gao效、超gao效)空氣過濾器的阻力、效率宜接近。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。