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真空泵的運行與維護防止返油的措施：在泵入口管路上設置放氣閥，使入口壓力維持在10Pa以上，這樣可以減少返流的98%。對于單級泵，在泵運轉時打開氣鎮閥就能很好的防止返流。在泵的入口設置吸附阱，依靠吸附劑吸返流蒸汽。

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旋片式真空泵故障原因：主要發生在真空泵的油窗、油箱密封墊、電機軸承軸封三個位置上，主要原因是真空泵使用時間過長而引起這些部位老化，密封失效，從而導致漏油。解決辦法：更換老化的油窗、軸封、密封墊和已吸滿泵油的毛氈墊，維修完成后，注油前應用愛德華真空泵泵油沖洗真空泵，并用溶劑清洗注油口處的濾網，以保持油箱的清潔。

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無油真空泵故障分析及解決：泵不排液故障分析：灌泵不足；泵軸轉向不對；濾網堵塞，底閥不靈；解決辦法：重新灌裝；調整泵軸轉向；停機檢查，清楚雜物。

泵排液后中斷故障分析：吸入管路漏氣；灌泵時吸入側氣體未排凈；吸入側突然被異物堵塞；解決辦法：檢查吸入管連接處及機械密封的密封情況；重新按要求灌泵；停機清理雜物。

流量不足故障分析：管路漏氣，漏液；阻力損失增加；葉輪磨損，堵塞，腐蝕；解決辦法：重新灌裝；調整泵軸轉向；停機檢查，清楚雜物。

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