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氦質譜檢漏儀

氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時間太長。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

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氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

隨著科技的迅猛發展，氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發展和究善。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發現，靈敏度高。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀，廣泛應用丁航空航天，電力電子，汽車等各個行業，綜觀較新氦質譜檢漏儀的性能特點發現，氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發展，這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求，也極大的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發展。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構氦質譜檢漏儀一般由質譜管，真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質分析器，

目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。

離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。如您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢，科儀創新竭誠為您服務。真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀，該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度，但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通，因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管，不會對系統有污染，因此被廣泛采用，已成為市場的主流的產品。

機械泵的工作方式不一樣，分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出，污染工作環境，干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。

檢漏儀使用中注意事項

檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點：

①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩壓電源(UPS)。

②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。

③檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養，保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。

本文介紹了5 種檢漏儀常見故障的分析與處理方法，其中儀器內部存在泄漏環節是一個易被忽視卻又易產生故障的環節，當檢漏部位的復檢結果不一致時，就需檢測儀器內部是否有漏。檢漏儀內部結構緊湊，定位難度大，本文采用切斷分子泵風扇電源和使用小流量噴槍的方式，提高了密封部位定位的能力。檢漏儀是檢漏工作的核心部件，在使用過程中應嚴格按照說明書的操作要求進行使用。文中以上出現的故障、現象的處理方式是本單位在多年使用過程中的一個總結和歸納。這樣，它們在分析器中的偏轉半徑相差也大，容易分開，定標找氦峰時，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對分析器制造精度的要求，易于加工。對檢漏工作者具有一定的參考價值。

今天和大家分享的是檢漏儀使用中注意事項，如果您想了解更多您可撥打圖片上的電話或訪問科儀網址，科儀竭誠為您服務！