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發(fā)布時(shí)間:2020-07-22 10:50  
基板S沿圖中X軸方向移動(dòng),由CXD影像處理器22擷取視野內(nèi)影像,CCD影像處理器22根據(jù)該影像計(jì)算偏移量,即,基板S邊緣Rl與CCD影像處理器22的邊緣R2之間的偏移量Λ y,并將該偏移量的信息提供給驅(qū)動(dòng)裝置23,驅(qū)動(dòng)裝置23根據(jù)接收到的偏移量的信息提供相應(yīng)的輸出量,帶動(dòng)與驅(qū)動(dòng)裝置23的輸出端連接的邊緣曝光機(jī)21沿Y軸方向移動(dòng),與基板S邊緣Rl對(duì)齊,從而進(jìn)行準(zhǔn)確的邊緣曝邊。
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