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發布時間:2020-11-07 12:39  
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A。應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。蘇州卓宇泰公司是一家主營設備搬遷、精準定位、無塵車間、設備安裝,設備包裝,大型廠房搬遷等業務。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。
無塵室的優點:構造簡單、系統建造成本,無塵室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵室等級。
無塵室的缺點:亂流造成的微塵粒子于室內 空間飄浮不易排出,易污染制無塵室程產品。另外若系統停止運轉再重啟,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。
無塵室內防止微粒子污染的基本原則:
不攜入
在無塵室內不攜入微粒子的方法有:
作業員進入無塵室前,機臺、零件攜入前應進行清潔處理;
進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進入無塵室。
機器及材料帶進無塵室前,應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭,經風淋室吹淋后才進入無塵室。
無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
潔凈室(無塵室)內一定潔凈度下氣流速度的確定,隨潔凈室用途等具體情況而異,它不僅受室內發塵量及過濾器效率還受其他因素影響,就工業潔凈室而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:
(1)室內污染源:建筑物組件、人員數量及操作活動、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據具體情況而異,變化很大;
(2)室內氣流流型及分布:單向流要求均勻、平等的流線,但會受到工藝設備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層;