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發(fā)布時(shí)間:2020-10-29 09:47  





質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介
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使用范圍: 質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。
特點(diǎn):流量精度高、線(xiàn)性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小。
質(zhì)量流量計(jì)簡(jiǎn)介
質(zhì)量流量:
以單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的 體積/分鐘 來(lái)表示。例如:毫升/分鐘即 mL/min (SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)), 升/分鐘即 L/min (SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)). 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為:氣體溫度—— 273.15K (0℃); 氣壓——101325Pa(1atm)
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流量控制器的工作原理
流量控制器(流量計(jì))利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成,即熱分布式流量計(jì)(Thermal Profile Flowmeter)。 采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大,然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較,用所得的差值信號(hào)放大去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門(mén)。通過(guò)實(shí)時(shí)的流量檢測(cè)閉環(huán),去控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
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