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半導體凈化車間設計的設計范圍

半導體凈化車間設計的設計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調設備、風管、水管等），特氣供應方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設備POU處理、房間排風廢氣處理），電氣方案（空調設備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

潔凈室的建筑布局和凈化空調系統有密切關系

潔凈室的建筑布局和凈化空調系統有密切關系，凈化空調系統既要服從建筑總體布局，建筑布局也要符合凈化空調系統的原則，才能充分發揮相關功能的作用。凈化空調的設計者不僅要了解建筑布局以考慮系統的布置，而且要給建筑布局提出要求，使其符合潔凈室原理。潔凈室一般包括潔凈區、準潔凈區和輔助區三部分。外廊環繞式：外廊可以有窗和無窗，兼作參觀和放置一些設備用，有的在外廊內設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。

頂部技術夾層。在這種夾層內一般因送、回風管的斷面,故作為

頂部技術夾層。在這種夾層內一般因送、回風管的斷面，故作為夾層內首先考慮的對象。一般將其安排在夾層的上方，其下安排電氣管線。當這種夾層的底板可承受一定重量時，可以在上面設置過濾器及排風設備等。房間技術夾層。這種方式和只有頂部夾層相比，可以減少夾層的布線與高度，可以省去回風管道返回上夾層所需的技術夾道。在下夾道內還可設回風機動力設備配電等，某層潔凈室的上夾道可以兼做上一層的下夾道。