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檢出限和定量分析LIBS檢出限很大程度上取決于被測樣品的類型、具體哪些元素、以及儀器的激光器/光譜檢測器的選型配置?；谝陨显颍琇IBS的檢出限可以從幾ppm一直到%級的范圍。通常經過聚焦后的激光功率密度達到GW/cm2量級，光斑處物質蒸發、氣化和原子化后電離，形成高溫、高壓和高電子密度的等離子體。在大多數常規應用中，對于絕大多數元素，LIBS檢出限可以做到10 ppm到100 ppm。在定量分析中，通過LIBS獲得的測量結果的相對標準偏差可以達到3-5%以內，而對于均質材料通?？梢缘?%以內甚至<1%。

LIBS的產業化進程

LIBS概念自20世紀60年代提出以來，因各種原因，一直以來主要用于科學研究領域。隨著技術的不斷突破，例如穩定可靠的激光器、高分辨率光譜儀、以及分析軟件技術等進展，LIBS的產業化在近十年中有了快速的發展，使其成為可以真正應用于實驗室甚至工業現場的實用分析儀器。在激光照射的光斑區域，樣品中的材料被燒蝕剝離，并在樣品上方形成納米粒子云團。其中比較有代表性的是TSI推出的ChemReveal 臺式LIBS激光誘導擊穿光譜儀，除了擁有LIBS通常具有的特點，其內置的雙攝像頭、微秒級時序控制、微米級XYZ三軸樣品臺控制、以及可編程的量化分析軟件等功能，使儀器的可靠性、可重復性和操作便利性達到了商業或工業應用的要求。

激光誘導擊穿光譜相結合，實現了LIBS與LA-ICP1MS的同時測量，具備多種測量功能：同時測量常量、微量元素及同位素；分析有機元素及輕元素；快速元素制圖?？捎糜诘V物元素定量分析、鋯石U-Pb定年、礦物熔體及流體包裹體分析、微區同位素分析和定年技術研究等地質研究領域。能夠同時測定主要元素、微量元素以及同位素，快速繪制元素圖。近幾年國際和國內對激光誘導擊穿光譜的關注日益升溫,激光誘導擊穿光譜分析技術正在從實驗室研究逐步推廣到環境檢測、鑒定與保護、等領域,甚至開始進入工業應用。

激光剝蝕進樣系統可與市面上的普通四極桿質譜儀、飛行時間質譜儀和多接收質譜儀等常見質譜儀聯用。