400A多源蒸發鍍膜機廠常用解決方案「多圖」

ZF450型全自動熱蒸發鍍膜機

沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業電阻器熱蒸發鍍膜供貨商，我們為您提供下列信息內容。

選用3～8組蒸發源可適配金屬材料、有機化合物蒸發。系統組成:主要由真空室、蒸發源、樣品臺、真空抽氣及測量、膜厚測試、電控系統組成。廣泛運用于高等院校材料、物理學、有機化學、電子器件、電力能源等有關課程及其科研單位制取高品質作用塑料薄膜、蒸鍍電級等，非常合適OPV/鈣鈦礦/無機物太陽能薄膜充電電池、半導體材料、有機化學EL、OLED顯示信息科學研究與開發設計行業。

1.前開關門真空內腔，便捷拿取基片、拆換蒸發舟、加上蒸發材料及其真空室的平時維護保養；

2.1200L/s分子泵做為主抽泵，真空限達到5×10-5Pa； 

另可選擇進口磁懸浮分子泵或是低溫泵做為主抽泵，真空限達到 3×10-6Pa；

3. 組水冷器蒸發電級，可長期平穩工作中，適配金屬材料材料與有機化學材料的蒸發源設計方案，

源間有避免交叉式環境污染擋板；

4. 真空蒸發開關電源，恒流電源/恒輸出功率操縱。可保持一鍵啟動和終止的自動控制系統作用；

5.較大120mm基片/15～25mm ITO/FTO夾層玻璃25片，可訂制一體化高精密刻蝕掩膜板；

6.基片臺自轉，轉速比0～25rpm持續可調式；

7. 襯底可挑選加溫或水冷散熱，源基距較大350mm；

8. 選用進口膜厚監控器儀在線監控和操縱蒸發速度、膜厚；

9. 可堆積金屬材料（Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等）、非金屬材料、化學物質（MoO3, LiF等）

及有機化合物材料， 可擴展堆積單面膜、雙層膜及混和膜；

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什么是蒸發鍍膜？

蒸發鍍膜常稱真空鍍膜。

其特點是在真空條件下，材料蒸發并在玻璃表面上凝結成膜，再經高溫熱處理后，在玻璃表面形成附著力很強的膜層。有70 多種元素、50 多種無機化合物材料和多種合金材料可供選擇。同時增加了表面的干潤滑性，Parylene具有佳的生物相容性，NC材兩者均列入FDA及美國藥典（USP）第VI級材料。PVD工藝的首要條件是在真空條件下操作，因為限量以上的殘余氣體會影響膜的成分和性質。為了實現鍍膜工藝，要求殘余氣體的壓力為0.1～1Pa。

ZF350有機無機聯合制備：采用3～4組蒸發源可兼容金屬、有機物蒸發。1、樣品位于真空室上方，蒸發源位于真空室下方，向上蒸發鍍膜，且蒸發源帶有擋板裝置。廣泛應用于高校材料、物理、化學、電子、能源等相關學科以及科研院所制備高質量功能薄膜、蒸鍍電極等，特別適合OPV/鈣鈦礦/無機薄膜太陽能電池、半導體、有機EL、OLED顯示研究與開發領域。

有機無機蒸發鍍膜儀

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有機無機蒸發鍍膜儀采用直線式結構，主要由二個有機材料生長室組成，兩個有機材料生長室之間通過閘板閥聯接，其中一個生長室系統預留與手套箱對接接口，能夠完成二套獨立的制備薄膜系統之間互相傳送基片。雙靶磁控濺射鍍膜儀產品特點1、此款鍍膜儀配置有兩個靶槍：一個靶槍配套的是射頻電源，用于非導電靶材的濺射鍍膜。有機無機蒸發鍍膜儀的有機材料生長室主要由真空室腔體組件、有機蒸發源、熱阻蒸發舟、樣品傳遞裝置、樣品臺、膜厚監測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。