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濕度控制是無塵車間生產必需具備的重要條件

濕度控制是無塵車間生產必需具備的重要條件，相對濕度是無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環境控制條件。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區或者在遠紫外線處理(DUV)區甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。 近年，在這些規定范圍中保持處理空氣過程,天津凈化工程為大家介紹一下相對濕度有一系列可能使潔凈室總體表現下降的因素，其中包括： 1、細菌生長; 2、工作人員感到室溫舒適的范圍; 3、出現靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。

潔凈室的平面布局有哪些

潔凈室的平面布局 潔凈室一般包括潔凈區、準潔凈區和輔助區三部分。 潔凈室的平面布置可以有以下幾種方式： 外廊環繞式：外廊可以有窗和無窗，兼作參觀和放置一些設備用，有的在外廊內設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。 內廊式：潔凈室設在外圍，而走廊設在內部，這種走廊的潔凈度級別一般都較高，甚至和潔凈室同級。 兩端式：潔凈區設在一邊，另一邊設準潔凈和輔助用房。 核心式：為了節約用地、縮短管線，可以潔凈區為核心，上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來，這種方式避開室外氣候對潔凈區的影響，減少了冷熱能耗，利于節能。

手術室空調系統清潔保養

進入手術室前，應將各種儀器設備安裝完畢并擦拭干凈。會擦拭時，不建議將失去纖維的織物材料用作清潔工具。作業結束后，應立即清除各種污垢，并將其分為防水、防污袋，密封后從污物通道中運出。擦拭各種設備，整理手術室，避免長期呆在室內的灰塵污染空氣。 當所有人員離開，國家衛生健康定時去清潔，這樣手術室空調系統應繼續運行15-20分鐘，然后關閉層流空調，使室內空氣潔凈。每天在手術前后，用消毒劑對無影燈、儀器車、臺、手術臺、壁柜等設備的表面和地面擦拭一次，對工作人員穿的隔離鞋進行清潔消毒。每周對上述設備及地面進行一次清潔保養。粗濾器、中濾器、回風口各清洗一次，保證濾塵效果。粗濾器、中效過濾器、回風網每2周定期用500mg/L含氯消毒劑（）濕洗，無菌切口率小于或等于0.2%。每月對潔凈手術部的空氣和設備表面進行細菌培養取樣，檢測粉塵粒子數、噪聲、溫度和濕度，并對結果進行登記歸檔。粗濾器和中間濾器每6個月更換一次。每年更換過濾器。

凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、空氣過濾器三三級過濾。100000 級空氣凈化處理，可采用亞空氣過濾器代空氣過濾器。

空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應符合:初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節系統的正壓段;空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統末端,空氣過濾的安裝方式應簡便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞、空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內。

確定集中或分散式凈化空氣調節系統時，應綜合考慮生產工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產工藝連續、無塵室或凈化車間面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節系統。