高純供氣系統生產廠家值得信賴 艾明坷

實驗室氣體管道設計要求

了解實驗室設計的都知道：實驗室的任何的設計都是有規格要求的，出了這個要求的范圍那么實驗室的設計就有漏洞，就不合格，就容易發生事故。實驗室的氣體的排放是非常重要的，如果說實驗室氣體管道設計不合理，工作人員就容易出事，甚至嚴重的就會有生命危險。試驗室供氣現狀目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統完成上述工作。

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小流量氣體凈化系統

高純供氣系統主要應用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發生器等的高純連續供氣，應用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣，也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體，更可以為半導體工藝設備提供超高純的工藝氣體。并成為當今試驗室設備使用高純氣體的可靠連續的供應源，氣體通過管道系統輸送至試驗室內，并可通過安裝在工作臺上的使用點二級減壓器方便地調節壓力和流量。

氣體凈化系統根據需求采用常溫或者高溫吸附劑，電化學拋光316L不銹鋼管件，出氣口配置微米過濾器，其氣體純化指標達到各項雜質含量小于1ppb的世界先進水平。

氣體配比儀采用質量流量計，電化學拋光316L不銹鋼管件，雙卡套或者VCR氣體接頭。

高純氣體的輸送管路系統

隨著微電子工業的發展，超大規模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高，對氣體中雜質和露1點要求極為嚴格，需要達到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統提出了非常高的要求 。電子特氣管道系統氦檢漏檢測規定1、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。