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發布時間：2020-10-31 06:16
脈沖激光沉積的應用領域
沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業生產、銷售脈沖激光沉積，以下信息由沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您提供。
脈沖激光沉積技術適合做的薄膜包括各種多元氧化物，氮化物，硫化物薄膜，金屬薄膜，磁性材料等。
應用領域：
單晶薄膜外延（SrTiO3，LaAlO3）
壓電薄膜（PZT，AlN，BiFeO3，BaTiO3）
鐵電薄膜（BaTiO3，KH2PO4）
熱電薄膜（SrTiO3）
金屬和化合物薄膜電極（Ti，Ag，Au，Pt，Ni，Co，SrRuO3，LaNiO3，YZrO2，GdCeO2，LaSrCoFeO3）
半導體薄膜（Zn(Mg)O，AlN，SrTiO3）
高K介質薄膜（HfO2，CeO2，Al2O3，BaTiO3，SrTiO3，PbZrTiO3，LaAlO3，Ta2O5）
超導薄膜（YBa2CuO7-x，BiSrCaCuO）
光波導，光學薄膜（PZT，AlN，BaTiO3，Al2O3，ZrO2，TiO2）
超疏水薄膜（PTFE）
紅外探測薄膜（V2O5，PZT）
脈沖激光沉積的原理
脈沖激光沉積原理：在真空環境下利用脈沖激光對靶材表面進行轟擊，利用激光產生的局域熱量將靶材物質轟擊出來，再沉積在不同的襯底上，從而形成薄膜。
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