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質(zhì)量流量計(jì)簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量：

以單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的 體積/分鐘 來(lái)表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）. 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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質(zhì)量流量計(jì)的用途

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1. 鍋爐、裂解爐用燃料氣質(zhì)量流量測(cè)量控制；

2. 石油化工、采油、火炬氣質(zhì)量流量測(cè)量；

3. 燃燒爐用空氣質(zhì)量流量測(cè)量控制;燃汽輪機(jī)氫氣質(zhì)量流量和控制；

4. 食品加工及飲料氣體質(zhì)量流量和控制；

5. 水廠氣質(zhì)量流量控制；

6. 生產(chǎn)半導(dǎo)體時(shí)高純度氣體質(zhì)量流量測(cè)量；

7. 催化劑、化學(xué)添加劑質(zhì)量流量測(cè)量；

8. 泵的保護(hù)控制、泵密封、潤(rùn)滑油池泄漏檢測(cè)；

9. 空調(diào)系統(tǒng)控制；

10. 儀表用空氣、工藝空氣、氮?dú)獾荣|(zhì)量流量測(cè)量。

11. 氣體分析儀，大氣采樣器

12. 泄露監(jiān)測(cè)

13. 氣體分配系統(tǒng)

14. 實(shí)驗(yàn)室氣體測(cè)量

15. 醫(yī)學(xué)應(yīng)用

16. 燃料電池

17. 應(yīng)用氣體：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等絕大多數(shù)氣體。

質(zhì)量流量控制器的常見問(wèn)題

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實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡(jiǎn)單，因?yàn)樵贛FC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡(jiǎn)稱CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮?dú)鉃橹行模植荚?.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡(jiǎn)單的分析其比率，用各自的CF值計(jì)算即可。

假設(shè)某臺(tái)MFC是用N2標(biāo)定的，但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He，實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數(shù)時(shí)，是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái)，如果N2流過(guò)He的MFC，實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時(shí)，考慮出廠標(biāo)定CF是否與你的氣源相同。