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              發布時間:2021-08-04 15:33  






              半導體凈化車間設計的設計范圍

              半導體凈化車間設計的設計范圍包括:裝修方案(圍護、地面防水保溫處理),暖通方案(空調設備、風管、水管等),特氣供應方案(特氣柜含保險控制、房間氣體監測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理),壓縮空氣方案,廢氣處理方案(儀器設備POU處理、房間排風廢氣處理),電氣方案(空調設備動力配電等),弱電工程,集成控制智能平臺,純水方案(冷卻水、去離子水、超純水、水管等),廢水處理。


              凈化廠房裝修具有很強的綜合性

              凈化廠房裝修具有很強的綜合性,除了無塵車間運用到這個技術,醫院的手術室同樣需要。它與一般的工業廠房建筑設計不同的是要提供為實現產品生產所要求的潔凈環境,統籌解決好在平面和空間布局上出現的建筑防火、人員疏散之間的矛盾,特別要處理好潔凈區的建筑設計與潔凈區工藝設計、空氣凈化設計之間相互協調的問題,諸如順應生產工藝流程、安排好與物流、潔凈區的氣流組織、建筑的氣密性和建筑裝飾的適用性等。


              電子萬級潔凈室廠房特點

              電子萬級潔凈室廠房特點:潔凈度等級要求高,風量、溫濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控,另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤為嚴格。如果廠房過于干燥則易產生靜電,造成CMOS集成損壞。

              一般來說,電子廠房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關溫濕度規定)。這時可有效地消除靜電,并使人感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分,由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等做出了嚴格的規定。


              頂部技術夾層。在這種夾層內一般因送、回風管的斷面,故作為

              頂部技術夾層。在這種夾層內一般因送、回風管的斷面,故作為夾層內首先考慮的對象。一般將其安排在夾層的上方,其下安排電氣管線。當這種夾層的底板可承受一定重量時,可以在上面設置過濾器及排風設備等。房間技術夾層。這種方式和只有頂部夾層相比,可以減少夾層的布線與高度,可以省去回風管道返回上夾層所需的技術夾道。在下夾道內還可設回風機動力設備配電等,某層潔凈室的上夾道可以兼做上一層的下夾道。


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