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發布時間：2020-11-09 10:42

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廣州潽拓光電——磁懸浮分子泵的振動抑制

2000 L 磁懸浮分子泵研制中，遇到復雜振動問題：轉子彎曲模態共振; 陀螺效應造成動力學失穩; 葉輪葉片導致轉子顫振; 成因復雜的機電耦合模態振動。轉子轉速達到20000r/min，故分子泵啟動時間較長。氣體處于分子流狀態，故需要配備前級泵，一般使用旋片泵作為前級泵。它們同時出現，嚴重影響轉子穩定性，給振動抑制帶來困難，需進行精細的控制器設計。控制器中，對不同振動采用不同方法抑制：陀螺效應依靠交叉反饋控制; 彎曲共振、分子泵葉輪葉片顫振及機電耦合模態振動，依靠各種不同的控制器傳遞函數相位方法。試驗驗證了方法的有效性，分子泵平穩升速到24000 r/ min，樣機達到了設計真空性能指標。

在分子泵轉子設計中，轉子一階彎曲模態頻率已經盡量保持遠離轉子da工作轉動頻率即400 Hz,但其對轉子振動的影響依然不能忽略，尤其在高速運行時，陀螺效應造成一階彎曲振動反向渦動模態頻率下降明顯。試驗驗證了方法的有效性，分子泵平穩升速到24000r/min，樣機達到了設計真空性能指標。通常認為傳統軸承支承的轉子，反向渦動很難被激發，但對電磁軸承轉子系統，經常可觀察到反向渦動被激發出來。因此，在轉子工作于整個轉速范圍內時，均應為彎曲模態振動提供足夠阻尼，避免一階彎曲正向或反向渦動被激發。事實上，如果電磁軸承振動控制不考慮彎曲模態的阻尼,轉子靜態懸浮時就會把轉子彎曲振動激發出來。

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TURBOVAC 361及361C 分子泵有以下四種配置（進/出氣口法蘭形式）：100 ISO-K/25 KF；100 CF/25 KF;160 ISO-K/25 KF；160 CF/25 KF;本模型組合包括以上2種接口模型。 TURBOVAC 361及361C型號名稱中有字母“C”的TURBOVAC泵配有吹掃氣裝置。廣州潽拓光電——LeyboldTW70渦輪分子泵維修質譜儀分子泵維修我司將提供LeyboldTW70渦輪分子泵維修質譜儀分子泵維修的詳細產品價格、產品圖片等產品介紹信息，有需要者歡迎來電洽談，期待我們的合作。吹掃氣的作用是保護TURBOVAC的軸承區域和電機。該型號產品技術特點：- 占地面積小；- 任意方向安裝；- 分子泵由于無油，可以提供潔凈的高真空和超高真空條件；- 通過TURBO.DRIVE TD 20Classic測量軸承溫度。- 節省空間；- 易于集成到復雜的真空系統；- 運行成本低；- 耐粉塵。