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分子泵

分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業、薄膜產業和科學研究事業迅速發展，分子泵應該是中國真空泵制造業發展的重點。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產效率又改善了膜層質量。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

水環泵也有其缺點：效率低，一般在30%左右，較好的可達50%。真空度低，這不僅是因為受到結構上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強只能達到2000~4000Pa。用油作工作液，可達130Pa。總之，由于水環泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除易著火、易暴的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。機械安裝：在連接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方安裝閥門及真空計，隨時可檢查真空泵的極限壓力。有了這些突出的特點，盡管它效率低，仍然得到了廣泛的應用。

旋片真空泵使用方法

使用方法1、使用前，應仔細閱讀產品使用說明書，開箱后應檢查裝運質量。收好備品備件和技術文件，拆除排氣品防護件。按要求安裝，接線，試轉向。水泠泵接水。2、為防止因返油與反轉而噴油，應先開啟泵口，按規定轉向把泵內存油用手盤到油箱中。同時查看油位，應在油標中心以上，但不要滿油標，多了要放出。3、判斷轉向的輔助方法。把護套倒放在泵口上，如開泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。聲音正常是正向，聲音異常是反向。考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。4、如在泵口配裝帶充氣電磁閥，一般應橫裝，并與泵同時動作。5、相對濕度較高或被抽氣體中含水汽等可凝性蒸汽時，應使用氣鎮閥。

蘇州方歐真空科技有限公司位于蘇州工業園區，注冊資金500萬，服務網點遍布華南華東，主要從事真空泵生產銷售，真空泵維修保養，并提供各式真空系統的技術解決方案、安裝調試、保養維修及現場服務。公司擁有一批專業的技術維修團隊，在維修方面擁有豐富的經驗，設有維修工廠及檢測設備，為客戶提供24小時真空泵技術支持及售后服務；常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經濟各行業應用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。

譜旭真空泵我們很多行業都在使用，它的類型也有很多種，能適應多種環境、多種場合、多種行業進行使用。設備本身也是優點眾多，很多人不了解它具體的特點，其實一般歸納起來有以下6點：

(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；

(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動功率，從而可實現較高轉速；

(3)譜旭真空泵泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；

(4)譜旭真空泵泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)譜旭真空泵壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)譜旭真空泵轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。