愛德華油式旋片真空泵萊寶真空泵濾芯「多圖」

EDWARD E2M80 愛德華真空泵維修

  惠州市明勝真空設備有限公司www.hzmszk.com真空泵維修服務：公司擁有一支強大、專業維修進口真空泵技術隊伍，特別精通于普旭(博世)BUSCH，萊寶Leybold，偉力Rietschle（里其樂），Becker貝克，EDWARD愛德華，ULVAC愛發科等進口真空泵的維修與保養服務，歡迎廣大業界人士來電來函，我們將竭誠為您提供免費的技術指導與全套滿意的維修服務支持。主要從事真空行業，銷售真空泵過濾器，真空泵葉片/滑片/石墨碳片，維修包/密封套件，真空泵維修耗材。

原裝進口愛德華真空泵油新品，全國包郵Edwards愛德華真空泵油，真空泵油可改善真空泵性能、耐

磨性和抗高溫性好，泵油使用后不容易乳化與積炭，從而延長換油的時間間隔。品質保證，歡迎購

買。

愛德華真空泵油 / ultragrade70    包裝規格：1L, 4L，16L

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真空泵油注意事項：

1、真空泵油在密封條件下保質期可以達到3-5年

2、新泵浦初次使用500小時后更換泵油，以后每工作1000-1500小時更換一次。(注：使用環境比較惡

劣要經常觀察泵油顏色）

3、檢查油位鏡，當泵油變成黃褐色轉入黑色或變成乳白色，需要更換真空泵油。

4、合理地選用真空泵油, 將會對泵的極限分壓力、極限全壓力、起動、功率消耗、泵溫、泵性能的穩

定性、真空泵的使用壽命都有好的幫助。

5、供應進口真空泵油，進口真空泵，原廠真空泵配件，真空泵維修保養，真空系統定

做與設計。

半導體加工我們繼續革新技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉時間、產量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環境的排放、延長產品使用壽命并降低持續服務成本，努力協調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統，因為它們能夠滿足成熟制程與發展中制程的具體要求。必須為PFPE準備的泵E2M40FX、E2M80FX和E2M175FX單獨采購Fomblin?。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統等各種系統，用來優化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個關鍵步驟。雖然傳統甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應對這兩種應用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因為輕型 EUV 系統 提供極短的波長。現場服務與真空泵維護您需要持續改善設備的正常運行時間并降低現場管理成本。要讓您的系統具有 性能，真空環境是關鍵。真空系統的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發了 精密真空系統，可為您進行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統的精密性 和長正常運行時間至關重要。

我們的產品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現超高真空。我們會根據需要分配吹掃、水、電和控制信號并打造隨時可投入使用的系統。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉子以降低艙室污染風險并延長 維修間隔。目前開發的產品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。

使用真空泵機組時需要注意什么?

1、在蒸餾系統和真空泵機組之間，必須裝有吸收裝置。

2、蒸餾前必須用水泵徹底抽去系統中溶劑的蒸氣。

3、如能用水泵抽氣的，則盡量用水泵，如蒸餾物質中含有揮發性物質，可先用水泵減壓抽降，然后改用油泵。

4、真空泵機組腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和粘溫特性。

5、減壓系統必須保持密不漏氣，所有的橡皮塞的大小和孔道要合適，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。