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發(fā)布時(shí)間:2020-10-29 08:12  





如何選擇真空檢漏儀
一.對(duì)檢漏方法的一般要求
1.檢漏靈敏度高,可以檢出很小的漏孔;
2.反應(yīng)時(shí)間短,可以提高工作效率;
3.能定位、定量,即不經(jīng)能夠找出漏孔的位置,還能知道漏率的大小,以便確定是否合乎質(zhì)量要求;
4.能無(wú)損檢漏,不使被檢設(shè)備受到損傷和污染;
5.穩(wěn)定性好,即可以在足夠長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠;
6.所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無(wú)毒,不腐蝕零件;
7.檢漏范圍大,從大漏孔到小漏孔都能檢測(cè)到,以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用;
8.檢漏時(shí)潔凈無(wú)油,滿(mǎn)足一些特殊的要求
二.選擇真空檢漏儀檢漏方法的原則
1.主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù),由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合,為找到一個(gè)單個(gè)漏孔,所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11w,而必須選用的檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W;
2.根據(jù)具體被檢對(duì)象,所用方法簡(jiǎn)便易行,經(jīng)濟(jì)實(shí)用。
氦質(zhì)譜檢漏儀
1.智能化:以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助,而現(xiàn)在的觸屏式,自動(dòng)檢測(cè)。
2.便捷化:這幾年市場(chǎng)上各種小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)樾袠I(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。
3.自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)0點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜擇功能,一個(gè)按鈕即可完成全檢漏過(guò)程。
4.全無(wú)油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
5.檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。
檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng)
1.如果儀器不是每天使用,建議每周開(kāi)機(jī)檢查一下,使儀器高真空系統(tǒng)保持真空,縮短儀器使用時(shí)的開(kāi)機(jī)時(shí)間
2.拆卸儀器部件(如離子源)后,安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,可用儀器進(jìn)行自身檢漏。
3.適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥等)進(jìn)行自身檢漏,發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊,以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。
4.檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。(散熱口灰塵處理,和泵油的檢查更換)
5.禁止任何外來(lái)物掉在或?yàn)⒃跈z漏儀上,尤其是進(jìn)氣口中,由于氦檢漏儀為精密儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過(guò)培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護(hù)工程師,才能使用此儀器。
6.使用時(shí),注意觀察儀器的運(yùn)行情況,一旦發(fā)現(xiàn)問(wèn)題(如較大振動(dòng)、高噪音等),儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,若搬動(dòng)檢漏儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源,并排除故障。
質(zhì)譜法基本原理
質(zhì)譜,又稱(chēng)質(zhì)譜法(mass spectrometry,MS),是通過(guò)不同的離子化方式,將試樣(原子或分子)轉(zhuǎn)化為運(yùn)動(dòng)的氣態(tài)離子,并按照質(zhì)荷比(m/z)大小進(jìn)行分離檢測(cè)的分析方法,是一種與光譜并列的譜學(xué)方法。根據(jù)質(zhì)譜圖上峰的位置和相對(duì)強(qiáng)度大小,質(zhì)譜可對(duì)無(wú)機(jī)物、有機(jī)物和生物大分子進(jìn)行定性和定量分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜,并運(yùn)用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無(wú)機(jī)元素分析。20世紀(jì)40年代以后開(kāi)始用于有機(jī)物分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜,并運(yùn)用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無(wú)機(jī)元素分析。20世紀(jì)40年代以后開(kāi)始用于有機(jī)物分析。80年代初期,快原子轟擊電離的應(yīng)用,是質(zhì)譜更好的運(yùn)用于生物化學(xué)大分子。90年代以來(lái),隨著電噴霧電離和基質(zhì)輔助激光解吸電離的應(yīng)用,已形成生物質(zhì)譜學(xué)一新學(xué)科[1]。目前,質(zhì)譜法已經(jīng)日益廣泛的應(yīng)用于原子能、化學(xué)、電子、冶金、、食品、陶瓷等工業(yè)生產(chǎn)部門(mén),農(nóng)業(yè)科學(xué)研究部門(mén),以及物理、電子與離子物理、同位素地質(zhì)學(xué)、有機(jī)化學(xué)等科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域[2]。
質(zhì)譜法的基本原理是試樣分子或原子在離子源中發(fā)生電離,生成各種類(lèi)型帶電粒子或離子,經(jīng)加速電場(chǎng)的作用獲得動(dòng)能形成離子束;進(jìn)入質(zhì)量分析儀,在其中再利用帶電粒子在電場(chǎng)或磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)軌跡的差異,將不同質(zhì)荷比的離子按空間位置或時(shí)間的不同而分離開(kāi);然后到達(dá)離子將離子流轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào),得到質(zhì)譜圖。
質(zhì)譜儀基本結(jié)構(gòu),化合物的質(zhì)譜是由質(zhì)譜儀測(cè)得的。質(zhì)譜儀是使分析試樣離子化并按質(zhì)荷比大小進(jìn)行分離、檢測(cè)和記錄的儀器。一般質(zhì)譜儀由進(jìn)樣系統(tǒng),離子源,質(zhì)量分析儀,離子及信號(hào)放大記錄系統(tǒng)組成