愛德華干式真空泵高真空系統(tǒng)

愛德華E2M80真空泵維修的（6）個流程

1.確認問題（如有需要，會在24小時內(nèi)排出專業(yè)技術(shù)人員趕赴現(xiàn)場確認愛德華真空泵故障）

2、取泵維修（在故障確認后精捷會給出具體維修周期、維修方案和可達到的效果并上門取泵）                                        

3、拆開報價（為了讓客戶更清晰的知道維修費用，明勝把維修費用細分化、合理化            

4、確認維修（客戶同意維修費用后開始維修，維修時刻現(xiàn)場觀摩，維修后所換配件原封不動送還客戶                                        

5、試機確認（確保維修過后達到真空度和穩(wěn)定性能，真空度達到出廠標準）                  

6、送泵安裝（在試機OK后24小時內(nèi)，客戶可當初驗收真空泵，看試機運轉(zhuǎn)效果）                     

7、定期維護（保修3個月內(nèi)會不定期的回訪，3個月后會有專門的售后人員跟蹤維護）

半導體加工我們繼續(xù)革新技術(shù)解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉(zhuǎn)時間、產(chǎn)量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環(huán)境的排放、延長產(chǎn)品使用壽命并降低持續(xù)服務成本，努力協(xié)調(diào)平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統(tǒng)，因為它們能夠滿足成熟制程與發(fā)展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統(tǒng)等各種系統(tǒng)，用來優(yōu)化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現(xiàn)。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個關(guān)鍵步驟。單一供應商：廣泛的產(chǎn)品組合齊聚一堂基于技術(shù)的解決方案：從UHV（超高真空）到大氣壓安心：經(jīng)驗豐富，可幫助您選擇解決方案。雖然傳統(tǒng)甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環(huán)境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應對這兩種應用。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術(shù)有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因為輕型 EUV 系統(tǒng) 提供極短的波長。要讓您的系統(tǒng)具有 性能，真空環(huán)境是關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。雙位氣鎮(zhèn)與回油附件和油霧過濾器結(jié)合使用，可持續(xù)抽排而不減少潤滑。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發(fā)了 精密真空系統(tǒng)，可為您進行的大型投資提供 可靠性。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統(tǒng)的精密性 和長正常運行時間至關(guān)重要。

我們的產(chǎn)品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現(xiàn)超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉(zhuǎn)子以降低艙室污染風險并延長 維修間隔。動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是先進技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。目前開發(fā)的產(chǎn)品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。