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凈化車間也叫無塵車間、潔凈室、無塵室等，是指將一定空間范圍之內(nèi)的空氣中的微粒子、有害氣體、細(xì)菌等之污物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍之內(nèi)，給予特別之設(shè)計的房間。也即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

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采用凈化車間也可以達(dá)到防靜電效果，現(xiàn)在很多加工生產(chǎn)領(lǐng)域中都會注重安全生產(chǎn)規(guī)范，所以車間需要避免有靜電產(chǎn)生，這樣在進(jìn)行生產(chǎn)加工時可以避免很多安全隱患，讓生產(chǎn)操作可以符合規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)，另外車間的工程施工方式很簡單，不需要復(fù)雜的操作流程就可以達(dá)到安裝使用目的，所以車間的實際應(yīng)用效果很好，也可以為生產(chǎn)工作的開展提供很多便利條件。

　凈化車間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)。目前凈化車間應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

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風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)系統(tǒng)流程圖

系統(tǒng)采用的是全新風(fēng)空調(diào)箱 FFU 系統(tǒng)：

<1>全新風(fēng)空調(diào)箱結(jié)構(gòu)

<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機(jī)和過濾器

千級區(qū)過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區(qū)過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%。

水系統(tǒng)水系統(tǒng)流程圖

冰水系統(tǒng)分為一次側(cè)和二次側(cè).

一次側(cè)冰水水溫7-12 度,供給空調(diào)箱和風(fēng)機(jī)盤管,二次側(cè)冰水12-17度供給干盤管系統(tǒng).一次側(cè)冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接.

板式換熱器原理

干盤管:不結(jié)露的盤管,因凈化車間溫度在22 度,其溫度12 度左右,故7 度冰水不能直接進(jìn)入凈化車間,所以進(jìn)干盤管的冰水溫度在12-14 度.