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除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求； 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。

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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良，并有完善的質(zhì)量管理體系，可為用戶設(shè)計、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機組。我公司的主要產(chǎn)品有：ZJ系列、JZJX、JZJS系列干式真空泵，W、WY系列往復(fù)式真空泵,真空過濾機配套產(chǎn)品等，廣泛應(yīng)用于石油、化工、電子、機械、冶金、礦山、食品、印刷等各個領(lǐng)域。

　1、螺桿式

在螺桿式壓縮機中，轉(zhuǎn)子的圈數(shù)在一圈以內(nèi)，而螺桿真空泵的圈數(shù)如圖6所示那樣在2圈以上，這樣可減少返流量，提高壓縮比，單級泵可從大氣壓抽到1Pa的極限壓力，抽速為60～120m3/h，有市售產(chǎn)品。

2、矩形式

　　有矩形斷面的右和左的一對轉(zhuǎn)子相嚙合，由同步齒輪帶動實現(xiàn)非接觸式的高速運轉(zhuǎn)，氣體由上側(cè)進入，在泵腔內(nèi)壓縮由。

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為什么說是保險的呢。因為真空泵泵腔內(nèi)部，要是用化學(xué)除銹劑來除銹的話，泵腔多多少少會受損壞的。

　　二、用除銹劑除銹

　　這種措施除銹很干凈但是對泵腔的可能會有一定的損壞。

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