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發布時間:2020-11-03 11:40  





六氟化硫介紹
六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體,它的分子量為146.07,在20℃和0.1 MPa時密度為6.1kg/m3,約為空氣密度的5倍。六氟化硫在常溫常壓下為氣態,其臨界溫度為45.6℃,三相點溫度為-50.8℃,常壓下升華點溫度為-63.8℃。六氟化硫分子結構呈八面體排布,鍵合距離小、鍵合能高,因此其穩定性很高,在溫度不超過180℃時,它與電氣結構材料的相容性和氮氣相似。六氟化硫的使用可以增加設備運行的安全性、縮小設備體積、延長設備壽命。
SF6氣體已有百年歷史,它是法國兩位化學家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性氣體,1940年前后,美國軍方將其用于曼哈頓計劃(核軍事)。
SF6是強電負性氣體,它的分子極易吸附自由電子而形成質量大的負離子,削弱氣體中碰撞電離過程,因此其電氣絕緣強度很高,在均勻電場中約為空氣絕緣強度的2.5倍。SF6氣體在t≈2000K時出現熱分解高峰,因此在交流電弧電流過零時,SF6對弧道的冷卻作用比空氣強得多,其滅弧能力約為空氣的100倍。由于SF6氣體具有優良的滅弧性能和絕緣性能以及良好的化學穩定性,它從20世紀50年代末開始被用作高壓斷路器的滅弧介質。在超高壓和特高壓斷路器中,SF6作為滅弧介質,已取代油,并已大量取代了壓縮空氣。在電弧作用下SF6的分解物如SF4,S2F2,SF2,SOF2,SO2F2,SOF4和HF等,它們都有強烈的腐蝕性和毒性。
高純六氟化硫的應用
六氟化硫的使用可以增加設備運行的安全性、縮小設備體積、延長設備壽命。近幾年,國家大力發展基礎電力行業,給六氟化硫廠家帶來了很大的市場機遇。
高純六氟化硫(純度在99.99%以上),國內需求非常旺盛,而且附加值較高。
高純六氟化硫主要用于半導體工業中作清洗氣體。
六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一,近年來,各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術正被廣泛研究。
該技術在大幅降低液晶產品加工中占相當比例的CVD氣體成本的同時,還顯示出了極i佳的環保前景,近年來用量有明顯的提高。
據權i威機構預測,2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場,總需求量約為500億美元。目前國內使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產線約有50條左右預計。2016年將達到700噸左右,
國內使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產線有近50條,在未來的五年預計將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。聯產法氯氟代甲烷和六氟化硫聯產,氟化碳(COF2)與六氟化硫聯產。而國內高純六氟化硫產品遠遠不能滿足市場需求,半導體廠家所用高純產品大部分依賴進口,這給高純六氟化企業提供更多的發展機遇。
SF6氣體的分子具有很好的電負性,能夠捕i捉自由電子形成負離子,因此SF6氣體的滅弧性能是空氣的100倍,大型電力設備中大多使用SF6斷路器而不是空氣開關。純品的六氟化硫氣體滅弧后能夠迅速恢復還原,所以可以在設備中反復使用,非常適合需要頻繁操作的場所。但是如果SF6氣體質量不合格,雜質尤其是水分超標,出現六氟化硫微水過多的問題,在高壓電弧的作用下,就會生成亞硫酸、氫氟酸等有毒腐蝕性產物。近幾年,國家大力發展基礎電力行業,給六氟化硫廠家帶來了很大的市場機遇。六氟化硫氣體水分的危害非常大!