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發布時間:2021-10-24 02:04  
氦質譜檢漏真空系統電氣部分
除了主機供電部件和主機控制部件,還有幾組主要電路:
1)離子源電源。為離子源提供加速、聚焦、拒斥電壓。
2)發射電流穩定電路。穩定和調節發射電流。
3)離子流放大器和音響報警器。將離子流進行放大并將輸出信號送入輸出儀表或顯示器和音響報警器。
4)真空測量電路。一般用熱偶計測量低真空,用冷陰極磁控入電真空計測量高真室。
5)燈絲保護電路。當質譜室正常工作壓力被破壞后,立即切斷燈絲供電回路,以保護燈絲。
6)其他電路。不同型號的檢漏儀所具有的功能不盡相同,所以電路也有不少差加,這在各自的說明書中都有說明,這里不同贅述。
氦質譜檢漏儀以及氦質譜檢漏,在實際應用中,氦質譜檢漏顧名思義一般都會采用氦氣作為的示漏氣體,這是為什么呢?
氦質譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名,但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等,主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體,原因主要有以下幾點:
1、氦氣的質量輕,易于穿過漏孔,進入系統時流動和擴散快,因此響應快,檢漏靈敏度高。
2、氦離子質荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當降低對分析器制造精度的要求,使質譜室中氦離子通過的各個縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。
3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時本底信號小。
以上這些因素都為提高氦質譜檢漏儀器的靈敏度創造了良好條件。另外,氦氣作為一種惰性氣體,性質不活潑,不與真空器件起化學反應,無毒,也不會污染環境,因此使用起來也十分安全。
氦質譜儀查漏技術介紹
氦質譜儀查漏法是一-種在線式、易操作,且靈敏度高、抗干擾的監測方法。其在各行業查漏應用中,有真空法、正壓法、真空壓力法、背壓法等4種方法。而在各發電廠的查漏工作中,多采用真空法和正壓法。發電機及壓力容器、壓力管道等的氣密性檢查多采用正壓法,而汽輪機真空系統查漏則多采用真空法進行氨質譜檢漏。
該方法使用的氣體噴逐塊、逐區域地對汽輪機真空系統各設備、各部位噴射氦氣。如果某處存在泄漏點,作為檢漏示蹤氣體的復氣將隨同環境中的空氣被吸人,終從真空泵氣水分離器排放管排出,通過監測探頭在抽氣器出口抽吸氦氣及其他不凝性氣體形成的混合氣體,并通過氮質譜儀內的質譜分析功能,分析氮氣分子顆粒在靶板上的物質量,判斷被檢位置的泄漏空氣相對量17-81。
在檢漏過程中,根據氦質譜儀顯示屏上示數變化的情況,判斷被檢位置是否泄漏,及泄漏的程度。
氦質譜檢漏儀開機步驟
1、將總電源轉到“前級泵”,低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa,開抽速閥,開漏孔開關,表頭示值也應能抽到原來位置,再關抽速閥。
2、將總電源轉到“擴散泵”,燈亮,擴散泵開始加熱。
3、等20分鐘左右,擴散泵排氣管應熱,開冷規開關,“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規已激發)再關冷規。
4、開抽速閥,過幾分鐘后開冷規,表頭指針應從左打向右,再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規,可等一會兒再開),當真空示值超過1×10-2Pa后,可啟動燈絲,燈亮,“發射電流”有指示,開、關漏孔檢查氦質譜檢漏儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda),靈敏度達要求后關漏孔。
5、將工件用外接泵抽上真空后,開節流閥至冷規指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間,對工件噴氦檢漏。檢漏完,關節流閥。