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如何保證電子氣體的安全儲存

如何保證電子氣體的安全儲存、使用操作，系統的工藝和產品本征安全設計，在眾多的國際標準規范如，等都有很詳細的規定，目前中國國內也正在起草針對電子特種氣體的國家標準規范。通常而言，會根據氣體性質和相容性，將氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房等。氣體房規劃需要考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物總量控制等等。針對輸送系統，特別是系統，因總量較大，應釆用隔離式建筑。氣體房和氣柜應采用自動噴淋系統。而三氟化氯遇水反應，需要采用二氧化碳滅火系統。

使用電子氣體的工廠抽風系統，也根據危險品性質分成了普通排風系統（，酸性排風系統（，溶劑排風系統（和氨氣排風系統（。換鋼瓶時的吹掃尾氣，也建議排放至尾氣處理器中。輸送管道一般采用無縫管。施工釆用自動軌道焊接，經保壓、氦檢漏和純度測試。對于毒、高反應性和自燃氣體，應使用雙套管輸送。一些毒氣體如磷烷等，安全輸送系統（正在被廣泛使用。其鋼瓶內采用負壓吸附的方式，用真空法輸送，從根本上避免了氣體的泄漏。氣體偵測系統（是全廠生命安全系統（的重要組成部分。對于偵測器的要求，除了精度高，反應迅速外，還應具備自檢功能。

真空鍍膜時為什么要用到高純氣體

在真空離子鍍膜中，所選用不同氣體所生產出來的，液態氣體色澤也會不一樣，氬氣一般用作創造鍍膜的環境鍍鈦和鉻時，工業氣體充入氮氣可生產出銀色和黃色的產品而想要生產出黑色或灰色的產品，則需要加入氣體加入氧氣則生產藍色的產品。除了氣體外所生產出的產品顏色還受壓力、溫度、時間等條件影響。

真空電鍍是利用的什麼原理?

在高真空度的條件下，高純度的鍍層金屬（如鋁）在高溫下蒸發后會自由地飛散開并沉降在工件表面，形成鍍層。氬氣為保護性氣體，防止氧化反應影響鍍層質量。氬氣在電鍍過程中有何用?

氬氣不參與反應，只是增加氣壓，改善鍍膜時靶的放電條件，氬氣不是用于鍍膜，主要用于創造鍍膜的環境。氮氣和氬氣都是惰性氣體,沖進去以后,一 可以排除氧氣,防止氧化,二更具氮氣和氬氣在擴散泵內的含量比例不同,可以鍍膜出不同的顏色.主要是為了改變鍍膜出來產品的色彩.

高純管道在高純氣體輸送中的意義

常見氣體的種類 w* r% P( G( `5 K  _* u, A& ~

電子行業中常見氣體的分類：/ c9 A7 q6 A& P$ e, [& |; F3 O

普通氣體，也稱大宗氣體 （Bulk gas ）：氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（A2）等

特種氣體（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等