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光波超精密——開式氣浮導軌

氣浮導軌的結構形式

平面封閉型導軌：這種形式的導軌，由于工作臺導軌面變形較小，可以達到高精度，高剛性，大載荷的要求，zui適合用作精密加工機床和測量儀器等設備的長導軌。

重量平衡式導軌：此結構導軌的圓度、圓筒度和導孔間距等精度完全由機械加工確定，全部載荷由導柱承擔，易發生變形，故除垂直導軌外，多用于輕載荷、短導軌。

真空負壓平衡式導軌：該導軌結構簡單，易于加工。但軸承剛度較低，適合負荷變化小的場合。

光波超精密——開式氣浮導軌

真空負壓平衡式導軌：該導軌與重量平衡式導軌是同一種類型，適用于工作臺重量輕或不能加重的情況下，在保持真空負壓和靜壓的同時，由固定的導軌間隙維持。

線性導軌主要有以下幾種類型

一、滑動(動壓力)導向器。

二是靜壓導軌，根據流體的不同，可分為：空氣靜壓導軌(氣浮導軌)和液體靜壓導軌。

三、滾動導軌，因滾動體不同而分為滾珠導軌和滾柱導軌。

四、磁浮軌道

幾何精度和導向精度是直線導軌各項精度指標中比較重要的兩項。

根據檢測方法的不同，可以對導軌直線度進行分類，對一般的導軌直線度，通常采用水平儀測距和橋板測距兩種方法，根據得到的一條近似于導軌實際線的誤差曲線，確定導軌直線度誤差。

但在測量高精度導軌直線度時，導軌本身的直線度等級會與檢測工具的直線度等級達到一個數量級，此時使用距法就不能將導軌與工具的直線度誤差分離，這時就需要一種不使用基準的高精度測量方法或技巧來有效地分離誤差，一般常用的是“直尺反測誤差分離法”。

光波超精密氣浮導軌廠家——開式氣浮導軌

當前導軌直線度的常用檢測方法有：

有基準測量：將被測直線與選定的標準線相比較

無基準測量：在被測表面上取一定量的測點，用某種方法處理測量數據

用于三坐標測量機上的導向裝置有：滑動導向裝置、滾動導向裝置和氣浮導向裝置。滑軌精度高，承載能力強，但低速運行時摩擦阻力大，容易產生爬行，也不易在高速下運行，有逐漸被氣浮導軌取代的趨勢。現在大多數三坐標測量機都采用安氣靜壓導軌，也叫氣浮式導軌，其優點是制作簡單，精度高，摩擦系數小，工作平穩。

該微結構能有效地應用于超精密機床的動靜導軌表面，可有效地降低氣浮導軌間隙內高速氣體的流動阻力，提高機床定位精度和系統運動速度。以計算流體動力學方法(CFD)為基礎(Computational fluid dynamics, CFD)，應用雷諾平均方程和帶旋流修正的k-：湍流模型，建立了導軌微結構表面流體動力減阻分析模型，并結合流場分析和阻力分析，尋找符合氣浮導軌功能要求的微結構表面。本文研究了導軌表面微溝槽的形狀和幾何特征參數對減阻效果的影響規律，并通過識別各種因素對減阻效果的影響規律，分析了矩形、 V形、 U形、 V形、Space-V形等四種微結構表面形態，確定了z適ui合超精密機床氣浮導軌減阻要求的微溝槽形狀。然后，通過研究導軌氣浮表面微結構減阻功能表面的幾何特性(構型、尺寸、形狀、位置等)對減阻的影響規律，對氣浮導軌微結構功能表面的參數進行了優化設計。

光波超精密空氣導軌——開式氣浮導軌

氣浮式導軌利用空氣的粘性，把外壓縮空氣通過節流器引入導軌和滑塊之間的間隙，形成具有超高剛度的氣膜間隙，使負載得以平穩運行i。

氣浮式導軌電子制造設備工業中超精密測量和實驗室測量，如光刻機、貼片機等納米和亞微米工業磨擦系數接近零，永i不磨損。

持久的精i確度，出廠精i確度即永i久精i確度

導向器永i不磨損，因此不存在售后問題，無需返修，更不用全套更換。

精i確度永不丟失，導軌無需人工校正，補償。

計量準確。由于氣膜剛度大、運動平穩、振幅小、振動頻率接近，所以可以完全避免和消除高精度測量中振動對測量精度的影響，摩擦力小，低速運動不會產生爬行抖動現象。隨動電機快速性好，適應頻繁啟停測試要求