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發(fā)布時間:2020-11-08 05:20  





什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。如果不特殊聲明,MFC都采用氟橡膠密封,可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體,例如可以用于鹵族干燥氣體。冶金,制藥等。特點:精度高,重復(fù)性好。
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流量控制器的性能特點
可按設(shè)計或?qū)嶋H要求設(shè)定流量,能自動消除系 統(tǒng)的壓差波動,保持流量不變。
克服系統(tǒng)冷熱不均現(xiàn)象,提高供熱(供冷)質(zhì)量。
完全解決近端壓差大,遠端壓差小的矛盾。
減少系統(tǒng)循環(huán)水量,降低系統(tǒng)阻力。
減少設(shè)計工作量,不需要對管網(wǎng)進行繁瑣的水力平衡計算。
降低調(diào)網(wǎng)難度,把復(fù)雜的調(diào)網(wǎng)工作簡化為簡單的流量分配。
免除多熱源管網(wǎng)熱源切換時的流量再分配工作。
流量顯示值均為測試臺上隨機標定,流量(m3/h) 。
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如何提高流量控制器的準確度?
提高氣體質(zhì)量流量控制器實用準確度的措施為:
1.針對氣體質(zhì)量流量控制器的實際工藝參數(shù),對該流量計進行“個性化標準”,從而實現(xiàn)在實際使用流量點的一定范圍內(nèi),該氣體質(zhì)量流量控制器的實際測量誤差(與標準值的差)趨于零。
2.把好氣體質(zhì)量流量控制器的安裝環(huán)節(jié),減少或消除機械應(yīng)力、機械扭力和機械振動等對該流量計使用的影響。
3.考慮工藝壓力、溫度等對氣體質(zhì)量流量控制器測量準確度的影響。
4.把好氣體質(zhì)量流量控制器的投用關(guān)。