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鏈條隧道式傳遞機(jī)構(gòu)的缺陷是，1、真空室之間的連接閥門(mén)需要較大尺寸，這樣，不同真空室之間的氣氛容易互串，進(jìn)而降低鍍膜質(zhì)量、成品率等；2、需要較高的設(shè)計(jì)精度、加工水平，由于是柔性結(jié)構(gòu)，容易出現(xiàn)匹配不準(zhǔn)確，導(dǎo)致傳送出現(xiàn)故障。真空鍍膜機(jī)往復(fù)步進(jìn)齒條推桿式傳送機(jī)其傳遞過(guò)程為，固定在鍍膜室頂上或底盤(pán)上（與公轉(zhuǎn)盤(pán)同一側(cè)）、并可以往復(fù)運(yùn)動(dòng)的齒輪G、齒條H－推桿機(jī)構(gòu)，順序?qū)崿F(xiàn)自轉(zhuǎn)工件桿Am從真空室M的公轉(zhuǎn)盤(pán)Jm向真空室N的公轉(zhuǎn)盤(pán)Jn的傳遞。齒輪、齒條所用的動(dòng)力是通過(guò)軸密封在真空室外的電機(jī)來(lái)實(shí)現(xiàn)。為使自轉(zhuǎn)工件桿脫離公轉(zhuǎn)盤(pán)進(jìn)入下一個(gè)公轉(zhuǎn)盤(pán)，在公轉(zhuǎn)盤(pán)與自轉(zhuǎn)軸之間采用開(kāi)放式連接，同時(shí)在固定于鍍膜室內(nèi)并維持自轉(zhuǎn)的內(nèi)齒輪盤(pán)相應(yīng)位置開(kāi)口，實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn)工件桿從鍍膜室M傳送到下一個(gè)鍍膜室N。

全電介質(zhì)反射膜是建立在多光束干涉基礎(chǔ)上的。與增透膜相反，在光學(xué)表面上鍍一層折射率高于基體材料的鍍膜，就可以增加光學(xué)表面的反射率。簡(jiǎn)單的多層反射膜是由高、低折射率的二種材料交替蒸鍍而成的,每層膜的光學(xué)厚度為某一波長(zhǎng)的四分之一。在這種條件下，參加疊加的各界面上的反射光矢量，振動(dòng)方向相同。合成振幅隨著薄膜層數(shù)的增加而增加。

原則上說(shuō)，全電介質(zhì)反射膜的反射率可以無(wú)限接近于1，但是薄膜的散射、吸收損耗限制了薄膜反射率的提高。迄今為止，激光反射膜的反射率雖然已超過(guò)99.9%，但有一些工作還要求它的反射率繼續(xù)提高。應(yīng)用于強(qiáng)激光系統(tǒng)的反射膜，則更強(qiáng)調(diào)它的抗激光強(qiáng)度，圍繞提高這類薄膜的抗激光強(qiáng)度所開(kāi)展的工作，使這類薄膜的研究更加深入。

誘增透濾光片是在金屬膜兩邊匹配以適當(dāng)?shù)碾娊橘|(zhì)膜系，以增加勢(shì)透過(guò)率，減少反射，使通帶透過(guò)率增加的一類濾光片。雖然它的通帶性能不如全電介質(zhì)法－珀濾光片,卻有著很寬的截止特性,所以還是有很大的應(yīng)用價(jià)值。特別在紫外區(qū)，一般電介質(zhì)材料吸收都比較大的情況下,它的優(yōu)越性就更明顯了。圖3的a、b、c分別給出法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片的典型曲線。



鍍膜有時(shí)僅考慮某一波長(zhǎng)，叫做單色分光膜；有時(shí)需要考慮一個(gè)光譜區(qū)域叫做寬帶分光膜；用于可見(jiàn)光的寬帶分光膜，又叫做中性分光膜。這種膜也常在斜入射下應(yīng)用，由于偏振的影響，二束光的偏振狀態(tài)可以相差很多,在有些工作中，可以不考慮這種差別,但在另一些工作中（例如某些干涉儀），則要求兩束光都是消偏振的，這就需要設(shè)計(jì)和制備消偏振膜。