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智能氣路系統功能模塊

根據不同研究方向需求不同，智能氣路系統可以實現以下基本功能模塊：

氣體流量單獨控制：用戶可通過屏幕上顯示的氣路原理圖直接設定內部質量流量控制器（MFC）流量，設定范圍為2%-100%F.S.

電磁截止閥單獨控制：用戶可通過屏幕上顯示的氣路原理圖直接控制電磁截止閥關斷/開啟

自動分段進氣功能：按照客戶給出的流量設定值及時間長度自動完成分段進氣，客戶可針對流量實現二次編程，自動進氣

壓力報警和處理：配合壓力傳感器及電磁閥的聯動，用戶可自定義設定壓差上限與下限，實現壓差上限下限報警或關斷功能，保護實驗結果和氣路系統

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氣體管路要求

壓縮空氣在管路上有過濾雜質和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯一路，用單獨的閥門隔離，以方便對過濾裝置進行維修。高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調節裝置時才可以使用接頭配件。每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。

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