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被抽氣體的溫度可能過(guò)高。解決之道：降低被抽氣體的溫度，或可以加一個(gè)相應(yīng)的換熱器。愛(ài)發(fā)科VDN901旋片真空泵專修泵內(nèi)的油路不通或者不暢，泵腔內(nèi)沒(méi)有保持一定量的油量。解決之道：檢查油路是否暢通，并加同類型的真空泵油。愛(ài)發(fā)科VDN901旋片真空泵專修配合的間隙改大。（2）泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳：因泵軸承損壞，轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫，齒輪潤(rùn)滑油因高溫氧化積碳。這是長(zhǎng)期被抽氣體內(nèi)含有粉塵等，造成旋片和定子之間磨損后的間隙增大。解決之道：檢查間隙是否過(guò)大，更換新的零部件。

由于真空泵在高速工作的情況下會(huì)形成，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速過(guò)快會(huì)形成支持轉(zhuǎn)子的軸承發(fā)熱。

軸承損壞：軸承翻滾體及軸承保持架損壞后都會(huì)伴有軸承過(guò)熱的表象呈現(xiàn)。軸承損壞有必要及時(shí)替換新軸承。

光滑表象：光滑脂增加量過(guò)大過(guò)小，或光滑脂類型不符合，其使用時(shí)間過(guò)長(zhǎng)或許光滑脂被污染都會(huì)形成軸承發(fā)熱。此刻，應(yīng)查看光滑脂類型，問(wèn)詢廠家適宜的用量，調(diào)整好光滑脂即可康復(fù)軸承溫度。

轟動(dòng)影響：當(dāng)泵體或軸承轟動(dòng)較大時(shí)都會(huì)發(fā)生軸承溫度過(guò)高的表象，查看泵體找出轟動(dòng)緣由，消除轟動(dòng)，則軸承溫度康復(fù)。

愛(ài)發(fā)科VDN901旋片真空泵專修

清洗吸氣過(guò)濾網(wǎng)吸氣濾網(wǎng)應(yīng)保持清潔，以免抽速下降。

更換排氣過(guò)濾器如果泵溫明顯升高、電動(dòng)機(jī)電流達(dá)到或超過(guò)額定電流，泵排氣口有油煙產(chǎn)生，則應(yīng)檢查排氣過(guò)濾器是否堵塞，如堵塞，應(yīng)及時(shí)更換。可在泵加油孔處安裝排氣壓力表，檢查過(guò)濾器是否堵塞。當(dāng)壓力超過(guò)0.6bar（表壓力）時(shí)可更換排氣過(guò)濾器。

貯藏如果泵長(zhǎng)期擱置不用，應(yīng)將油放盡并清洗泵，然后注入規(guī)定的新油放置在干燥場(chǎng)所。

針對(duì)真空泵腐蝕的修復(fù)方法：

徹底清除表面氧化層，用將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護(hù)，專業(yè)的安裝方式完工。

愛(ài)發(fā)科NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮短非氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

愛(ài)發(fā)科真空泵NRL180A特點(diǎn)：

低噪音、低振動(dòng)、的耐腐蝕性。

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對(duì)府蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。