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生物處理方法適用于處理多種揮發性有機物(VOCs)和多種工業廢氣中的無機蒸汽物質。這些物質含有氮、氯或少量酸的硫化合物。例如，H2S通常是惡臭問題的來源，通過生物過濾器可以很好地處理，只產生少量酸。在處理低濃度易分解的污染物質方面，生物濾池和生物滴濾池是成功的。

采用生物滴濾池處理揮發性有機物（VOCs）、有害空氣污染物（HAPs)和海邊污水處理廠的惡臭排放物。該污水處理廠位于加州亞哥市海空基地，處理的廢氣來自工業廢水、煉油廠的處理池。處理流程為：污染氣體向下流，與循環液體一起運行，經個生物滴濾池（填料為455kg活性炭）處理后排放。

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在氧氣供應充足的條件下，氧化反應的反應程度-VOC去除率-主要取決于三t條件:反應溫度、時間、顛簸混合。這種三T條件是相互聯系的，在一定范圍內，一個條件的改善可以降低另外兩個條件。熱燃燒式熱氧化器的缺點是輔助燃料價格高，裝置操作費用高。

間壁式熱氧化器是指在熱氧化裝置中加入間壁式熱交換器，將燃燒室排出的氣體的熱量傳遞給氧化裝置的入口溫度低的氣體，預熱完成后會引起氧化反應。現階段，間墻式換熱器的熱回收率高可達85%，因此大幅度降低了輔助燃料的消耗。

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一般來說，間壁式換熱器有管式、殼式、板式三種形式。熱氧化溫度必須控制在800℃~1000℃以內，因此間壁式熱交換必須由不銹鋼或合金材料制成。因此，間壁式換熱器的成本相當高，這也是其缺點。另外，材料的熱應力也難以消除，這是間墻式換熱的另一個缺點。烤箱vocs廢氣處理工程

蓄熱式熱氧化器簡稱RTO，在熱氧化裝置中計入蓄熱式熱交換器，完成VOC預熱后可以進行氧化反應。現階段，蓄熱式熱氧化器的熱回收率已到95%，占有空間小，輔助燃料消耗少。現在的蓄熱材料可以使用陶瓷填充材料，可以處理腐蝕性和含有粒子狀物質的VOC氣體。