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              北京氣體流量控制器廠家歡迎來電【厚禮博】

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              發布時間:2021-01-12 10:12  






              流量控制器基本原理

              通過測量氣體流經流量器內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件,其中一個作為溫度檢測,另一個作為加熱器。怕粉塵,若粉塵進入流量計會堵塞傳感器和分流器,造成測量誤差,要求在進氣口前加裝過濾器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加,冷卻效應越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量,即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。

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              流量控制器優點

              熱式質量流量器可測量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量;浸入式熱式質量流量計可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s),插入式熱式質量流量計更適合于大管徑。

              熱式質量流量計無活動部件,無分流管的熱分布式儀表無阻流件,壓力損失很小;帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表,雖在測量管道中置有阻流件,但壓力損失也不大。

              熱式質量流量計使用性能相對可靠。與推導式質量流量儀表相比,不需溫度傳感器,壓力傳感器和計算單元等,僅有流量傳感器,組成簡單,出現故障概率小。

              熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體,不必用這些氣體專門標定,直接就用空氣標定的儀表,實驗證明差別僅2%左右;用于Ar、He等單原子氣體則乘系數1.4即可;用于其他氣體可用比熱容換算,但偏差可能稍大些。

              氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變,但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數。

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              流量控制器在高壓條件下如何使用?

              質量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產品型號;  三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規定的范圍。流量控制器概述簡介質量流量計直接測量通過流量計的介質的質量流量,還可測量介質的密度及間接測量介質的溫度。只要做到以上三點,  MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。

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              如何提高流量控制器的準確度?

              提高氣體質量流量控制器實用準確度的措施為:

              1.針對氣體質量流量控制器的實際工藝參數,對該流量計進行“個性化標準”,從而實現在實際使用流量點的一定范圍內,該氣體質量流量控制器的實際測量誤差(與標準值的差)趨于零。

              2.把好氣體質量流量控制器的安裝環節,減少或消除機械應力、機械扭力和機械振動等對該流量計使用的影響。

              3.考慮工藝壓力、溫度等對氣體質量流量控制器測量準確度的影響。

              4.把好氣體質量流量控制器的投用關。

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