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發布時間:2020-07-22 06:16  








真空電鍍設備膜厚的不均勻問題
無論監控儀精度怎樣,它也只能控制真空室里單點位置的膜厚,一般來講是工件架的中間位置。如果真空電鍍設備此位置的膜厚不是均勻的,那么遠離中心位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩能消除表現為長期的不均勻性,但有些膜厚度的變化是由蒸發源的不穩定或膜材的不同表現而引起的,所以幾乎是不可能消除的,但對真空室的結構和蒸發源的恰當選擇可以使這些影響化。
在過去幾年中,越來越多的用戶要求鍍膜系統制造廠家提供高性能的小規格、簡便型光學鍍膜系統,同時,用戶對性能的要求不僅沒有降低,反而有所提高,特別是在薄膜密度和保證吸水后光譜變化化等方面。
現在,系統的平均尺寸規格已經在降低,而應用小規格設備進行光學鍍膜的生產也已經轉變成為純技術問題。因此,選用現代化光學鍍膜系統的關鍵取決于對以下因素的認真考慮:對鍍膜產品的預期性能,基片的尺寸大小和物理特性以及保證高度一致性工藝所必需的所有技術因素。
真空鍍膜機實驗專用設備玻璃制擴散泵真空系統
真空泵按工作條件的不同分為兩類:能夠在大氣壓下工作的真空泵稱為初級泵(如機械泵),用來產生預備真空,需要在預備條件下才能工作的真空泵稱為次級泵(玻璃擴散泵),次級泵用來進一步提高真空度,獲得高真空。
擴散泵的液體油有多種,目前廣泛使用的是3號擴散泵油(20℃時飽和汽壓為1.3×10-6Pa)沸點375℃和275號硅油(20℃時飽和汽壓為1.3×10-8Pa)沸點430℃。擴散泵開始工作之前,必須先開動機械泵抽氣,達到預備真空時,便可以使用電爐對擴散泵蒸發器中的油進行加熱,約25~35min的時間,便可觀察到,擴散泵油開始沸騰。當硅油加熱至沸騰時430℃,便產生大量油蒸汽,蒸汽經過導管由各級噴嘴高速噴出。
鍍膜機真空機械選擇
鍍膜機真空機械選擇 鍍膜機真空機械選擇,真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。 ⑴真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。 ⑵了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。
