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發布時間:2020-11-27 14:30  





精密離心機主軸回轉誤差直接影響精密離心機動態半徑的測量、離心加速度輸出精度以及精密離心機主軸運行安全性,必須精準測量主軸回轉誤差參數;介紹一種應用3個電容測微儀測試并分離主軸回轉誤差與圓度誤差的方法,利用MATLAB對三只電容測微儀安裝角度誤差、主軸全周采樣點數、測試系統本底噪聲對主軸回轉誤差測試結果影響進行分析,得出采樣點數N、測微儀安裝角度誤差δα、δβ以及測試系統本底噪聲對回轉誤差分離的影響,基于結果確定了10-6量級精密離心機主軸回轉誤差測量的幾個工程參數。該方法已應用于某高精度精密離心機主軸回轉誤差精密測試中,實測表明,轉速在300 rpm內精密離心機純回轉誤差測量結果為0.25 μm,滿足10-6量級高精度精密離心機的研制指標需求。
隨著科學技術的發展,工業生產需要人們對微位移測量的精度和定位的精度提出更高的要求。在眾多的測量儀器當中,非接觸式測量儀器由于其自身的優點,成為微位移測量領域的主流研究方向之一。而電容測微技術作為非接觸式測量微位移的重要手段,具有溫度穩定性好、測量范圍大、測量精度高、動態響應好、結構簡單、穩定可靠、使用方便,并可實現無接觸式測量等一系列優點,特別適宜動態、在線檢測,并能在特殊環境下工作特別是隨著集成電路技術和計算機技術的發展,促使電容傳感器揚長避短,使電容傳感器成為一種很有發展前途的傳感器,近年來得到了大范圍的研究和推廣,廣泛應用于航天航空技術、精密機械加工以及其他工業測控領域中,主要用來測量各種介質的薄膜厚度、金屬微變、微小相對位移、微小孔徑及各種截面的形狀誤差等。尤其能在強光照射、核輻射條件、過載沖擊震動等惡劣環境下工作。
電容測量儀器對工業計量中的很多被測參數都可以進行測量。在冶金工業中,可以對金屬制板厚度進行了測量;機械加工行業中,軸系晃動量的測量、機械零部件的表面粗糙度測量、孔徑測量、圓柱度測量、不圓度測量、三座標測量機檢測上應用;農業用塑料薄膜厚度檢測、軸向柱塞泵體油膜厚度測量;國防工業用氣體動壓軸承測量、氣浮陀螺測量;石油工業中石油密度測量;化學工業中鍍層厚度測量。另外還有環境介質檢測、電機轉速測量、鋼管直徑測量、光盤平面度檢測、磁盤動平衡測量、金屬線膨脹系數測量等。針對不同的工業計量中的檢測參數,經變換和不斷的改進更新達到實現測量和控制操作的目的。
電容測微技術有著廣泛的應用前景,發展更高精度、高分辨力和穩定性的電容位移傳感器有著現實意義。