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R1R2R3基團(tuán)可以是不同的烴基基團(tuán)，因此可組合成多樣的硅醚。硅醚化合物在保護(hù)基化學(xué)當(dāng)中有非常廣泛的應(yīng)用，常用的硅醚有：三甲基硅基 （TMS），叔丁基二硅基（TBDPS），叔丁基二甲基硅基（TBS/TBDMS）和三硅基（TIPS）。

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熱穩(wěn)定性好，溫和條件下水解又易于制備，故常用于保護(hù)羥基、羰基或者作為衍生物講行質(zhì)譜或氣相色譜分析。硅烯醇醚(silylenol ethers)，在有機(jī)合成中有很多用途。

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對反應(yīng)條件進(jìn)行了優(yōu)化,在n(六甲基二硅醚):n(氯化鋅)為1:0.06,反應(yīng)溫度為-2～0℃,反應(yīng)時間為3h,通氯化氫速度為20mL/min條件下,三甲基氯硅烷收率高達(dá)86.8%.

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