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六甲基二硅氮烷，無色透明液體。易水解，放出NH3，生成六甲基二硅醚。在催化劑存在下，與醇或酚反應，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無水氯化氫反應，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。

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R1R2R3基團可以是不同的烴基基團，因此可組合成多樣的硅醚。硅醚化合物在保護基化學當中有非常廣泛的應用，常用的硅醚有：三甲基硅基 （TMS），叔丁基二硅基（TBDPS），叔丁基二甲基硅基（TBS/TBDMS）和三硅基（TIPS）。

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并且盡快切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿消防防護服。盡可能切斷泄漏源，防止進入下水道、排烘溝等限制性空間。小量泄漏:用砂土蛭石或其它不燃材料吸收。

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