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發布時間:2020-12-09 09:28  





氦質譜檢漏儀的應用
(1)電子行業,微波發射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。
(2)真空行業,儀器、儀表行業,管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機組、電鏡、質譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、鍍膜機、薄膜真空計。
(3)核工業,鈾分離裝置、存儲裝置、核發電裝置。
(4)制冷行業,冰箱、空調、汽車用空調、蒸發器、冷凝器、壓縮機、低溫儲槽。
(5)不銹鋼保溫器皿,真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。
(6)核工業、航空工業、航天工業、船舶工業、軍事電子六大類。
氦質譜檢漏儀工作原理
氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理制成的磁偏轉型的質譜分析計,用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質譜檢漏儀器。其結構主要由進樣系統、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。質量分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送人到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力及用作保護裝置。
真空法氦質譜檢漏的優缺點
真空法的檢測標準主要有QJ3123-2000《氦質譜真空檢漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏檢驗》,主要應用于真空密封性能要求,但不帶壓工作的產品,如空間活動部件、液氫槽車、環境模擬設備等。
真空法的優點是檢測靈敏度高,可以準確定位,能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。
真空法的缺點是只能實現一個大氣壓差的漏率檢測,不能準確反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態。