云南正壓氦氣質譜檢漏儀報價常用指南,華誠浩達

氦質譜檢漏儀概述

氦質譜檢漏儀為氣體工業領域名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

氦質譜檢漏儀的構成

氦質譜儀電氣部分的核心是質譜室的供電和測量，其他部分包括真空系統的電源與控制部分，操縱面板及輸出儀表等。主要含有小電流放大器及輸出裝置、低頻發生器、高壓整流器及發射電流穩定裝置、高壓整流器供給冷陰極磁控規電源。在氦質譜儀檢漏技術中，根據被檢件的結構，尺寸要求和具體的檢漏條件，設置具有預抽被檢件、保證檢漏儀工作真空度、氣體分流、縮短反應時間和清除時間、降低對靈敏度的不良影響等功能的輔助真空系統，在某些條件下是非常必要的。

氦質譜檢漏儀的結構

氦質譜檢漏儀分析器的作用是使不同質荷比的離子按不同軌跡運動從而將它們彼此分開，僅使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個外加均勻磁場及一個出口電極組成。

氦質譜檢漏儀分析器的出口電極一般采用三柵結構。在離子收集極前面有三個柵極G1、G2、G3。G1和G3接地，中間柵極G2與離化室相連。G1柵的狹縫決定了氦離子的運動半徑，而使除氦以外的其他離子打不到收集極上去。中間柵極G2的正電位對于正離子而言相當于一個拒斥電場，只有具有一定能量的氦離子才能通過G2的狹縫，而由于碰撞失去能量的其他雜散離子即使進入G1狹縫，也不能通過G2狹縫到達收集極，使收集極的氦離子流不受這些雜散離子的干擾。柵極G3是抑制離子在收集極上打出的二次電子不跑向G2，使它仍返回收集極，以防離子流的不穩定。