四川正壓質譜檢漏真空系統優選企業,華誠浩達真空設備

氦質譜檢漏儀是如何工作的？

氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、真空系統、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質譜檢漏儀是如何工作的，我們以磁偏轉型的氦質譜檢漏儀為例進行說明。

在質譜室的離子源N內，氣體被電離成離子。在電場作用下離子聚焦成束，并以一定的速度經由縫隙S1進入磁分析器，在均勻磁場的作用下，具有一定速度的離子束，將按圓形軌跡運動。調節加速電壓U使氦離子束M2恰能通過縫隙S2到達收集極K而形成離子流。利用弱電流量測設備，使之在輸出儀表與音響裝置上反映出來。而其他不同于M2的離子束（如圖中M1，M3）則以不同的偏轉半徑而被分開。

氦質譜檢漏儀示蹤氣體選擇

對示蹤氣體的要求：氦質譜檢漏儀都用氦氣(He)作為示蹤氣體，也有用氫氣(H2)作為示蹤氣體的質譜檢漏儀器。

氫和氦都是比較理想的示蹤氣體：空氣中的含量少，質量輕，運動速度快，同等條件下，直線運動距離長。實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。但氫氣在使用中有一定的安全問題，所以實際大部分檢漏使用的是氦氣。質譜檢漏儀器示蹤氣體一般具有以下特點：

1、無害，不能對人體或環境造成傷害。

2、質量輕，惰性氣體，能穿透微小細縫。

3、化學性質穩定，不會起化學反應。

4、Z好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。

氦質譜檢漏儀的結構

氦質譜檢漏儀的電氣部分。氦質譜檢漏儀除了主機供電部件和主機控制部件外，還有幾組主要電路：

1、離子源電源。為離子源提供加速、聚集、拒斥電壓。

2、發射電流穩定電路。穩定和調節發射電流。

3、離子流放大器和單響報警器。將離子流進行放大并將輸出信號送入輸出儀表或顯示器和音響報警器。

4、真空測量電路。一般用熱偶計測量低真空，用冷陰極磁控放電真空計測量高真空。

5、燈絲保護電路。當質譜室正常工作壓力被破壞后，立即切斷燈絲供電回路，以保護燈絲。

6、其他電路。不同型號的氦質譜檢漏儀所具有的功能不盡相同，所以電路也有不少差別，這在各自的說明書中都有說明。

氦質譜檢漏儀工作原理

氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理制成的磁偏轉型的質譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質譜檢漏儀器。其結構主要由進樣系統、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送人到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力及用作保護裝置。