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              發布時間:2020-07-22 09:30  






              光刻膠分類

              1、負性光刻膠

              主要有聚酸系(聚酮膠)和環化橡膠系兩大類,前者以柯達公司的KPR為代表,后者以OMR系列為代表。

              2、正性光刻膠

              主要以重氮醒為感光化臺物,以酚醛樹脂為基本材料。的有AZ-1350系列。正膠的主要優點是分辨率高,缺點是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。

              3、負性電子束光刻膠

              為含有環氧基、乙烯基或環硫化物的聚合物。 的是COP膠,典型特性:靈敏度0.3~0.4μC/cm^2 (加速電壓10KV時)、分辨率1.0um、 對比度0.95。限制分辨率

              的主要因素是光刻膠在顯影時的溶脹。

              4、正性電子束光刻膠

              主要為甲酯、烯砜和重氮類這三種聚合物。的是PMMA膠,典型特性:靈敏度40~ 80μC/cm^2 (加速電壓20KV時)、分辨率0.1μm、 對比度2~3。

              PMMA膠的主要優點是分辨率高。主要缺點是靈敏度低,此外在高溫下易流動,耐干法刻蝕性差。


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              光刻膠的參數介紹

              1.對比度(Contrast)

              對比度指光刻膠從曝光區到非曝光區過渡的陡度。 對比度越好,越容易形成側壁陡直的圖形和較高的寬高比。

              2.粘滯性/黏度 (Viscosity)

              衡量光刻膠流動特性的參數。黏度通常可以使用光刻膠中聚合物的固體含量來控制。同一種光刻膠根據濃度不同可以有不同的黏度,而不同的黏度決定了該膠的不同的涂膠厚度。

              3.抗蝕性(Anti-etching)

              光刻膠必須保持它的粘附性,在后續的刻蝕工序中保護襯底表面。耐熱穩定性、抗刻蝕能力和抗離子轟擊能力。  

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              光刻膠分類概述

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              基于感光樹脂的化學結構,光刻膠可以分為三種類型。

              ①光聚合型,采用烯類單體,在光作用下生成自由基,自由基再進一步引發單體聚合,然后生成聚合物,具有形成正像的特點。

              ②光分解型,采用含有疊氮醌類化合物的材料,經光照后,會發生光分解反應,由油溶性變為水溶性,可以制成正性膠。

              ③光交聯型,采用聚乙烯醇月桂酸酯等作為光敏材料,在光的作用下,其分子中的雙鍵被打開,并使鏈與鏈之間發生交聯,形成一種不溶性的網狀結構,而起到抗蝕作用,這是一種典型的負性光刻膠。



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