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發(fā)布時間：2020-12-15 07:20
大學實驗室氣路規(guī)范、醫(yī)院實驗室氣路工程、物理實驗室氣路系統(tǒng)、科研實驗室集中供氣、實驗室氣路改造工程
【源燈籠科技】專業(yè)從事實驗室氣路管道工程施工與改造。
表面粗糙度和耐磨性
為了確保輸送的氣體純凈度，要求管道材料內(nèi)表面有一個極高的光潔度，這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨，可以在氣流高速沖刷下，產(chǎn)生的金屬粒子就少，不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。
抗腐蝕性
微電子生產(chǎn)中，經(jīng)常使用一些腐蝕性很強的氣體，這時必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會被腐蝕，輕則表面產(chǎn)生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會發(fā)生危險事故。
出氣速率
材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內(nèi)部存在著某些雜質(zhì)，如氮、碳氫化合物等，在高純氣體輸送過程中，這些雜質(zhì)會緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質(zhì)要求在ppb以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。
氣缸間布置
1、集中供氣系統(tǒng)儲存的氣體屬于燃氣體和燃料氣，必須按照國家規(guī)定分開儲存。把它們放在不同的隔間里。
2、氣瓶室設有調(diào)壓板。四套鍍銅和鍍鉻面板由兩個支架和一條側(cè)帶清潔。
3、應在調(diào)節(jié)器入口前安裝燒結金屬過濾器，以防止雜質(zhì)（如顆粒）污染系統(tǒng)。
