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Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖，進行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過的集成電路芯片，其25um細直徑連接線，連接強度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時就完全沒有，5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料，化學惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動機構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護材料。

Parylene涂層防護

自動化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器，用很薄的Parylene涂層防護可以提高環(huán)境適應性和可靠性。使用環(huán)境包括淡水、海水、煉油廠、化工廠、血液和體液以及輻射環(huán)境等。由于很薄的Parylene薄膜涂層就能對器件提供有效防護，對傳感器的靈敏度影響很小。國外已有四千萬種以上各種傳感器用Parylene防護，可用于微波、射頻、聲學、壓電、輻射、化學、溫度等各種傳感器。其中有汽車傳感器、腐蝕環(huán)境用傳感器、生物醫(yī)學用傳感器等。經(jīng)Parylene封裝的CMOS器件浸入海水中300天以上仍能正常工作，采用Parylene封裝防護甚至還可以開發(fā)能夠在液氮中使用的微電子器件。

Parylene高的絕緣強度和它的干膜潤滑性能使它完全能適合

除了這些內(nèi)在的性質(zhì)以外Parylene類涂層有優(yōu)異的電性能，它有優(yōu)異的節(jié)電性能-低的介質(zhì)損耗和高的介電強度，同時它還具有優(yōu)良的機械性能，有高的機械強度和低的摩擦系數(shù)，這二者的結(jié)合使Parylene成為對小型繞線傷害元件能能適用的絕緣層。細銅線的絕緣漆在嚴格的繞線操作時會被損壞，尤其是對較小的環(huán)形和圓筒形器件需要用一個涂層，它不僅能提供絕緣而且也能消除摩擦引起的繞線時對線的損傷。Parylene高的絕緣強度和它的干膜潤滑性能使它完全能適合于這種應用。

       根據(jù)防水使用的膠水材料又分為，環(huán)氧樹脂膠和硅膠。在外觀和發(fā)光效果來講。灌注硅膠的防水燈條發(fā)出的光強度更大，且手感舒適還兼顧了環(huán)保理念。但他有一個缺點柔韌性較差易碎。相比較而言多數(shù)還是選擇環(huán)氧樹脂膠，他的柔韌性較好且成本相對便宜，所以被廣泛使用。

      按照芯片總類以及燈珠數(shù)量劃分：LED軟燈條常見的燈珠有3528、5050兩種，根據(jù)每米燈珠的數(shù)量分為：30燈、48燈、60燈等常見規(guī)格，其中3528由于其功率較小（單顆0.06W）可做到120燈/米。