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發布時間:2020-11-08 12:12  





真空泵真空設備檢漏維修
深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設有售后辦事處。由于這種泵數量很多,加工裝配工作量很大,價格又很低,所以有的國外真空廠商在中國建立專業廠。是一家專門從事各種真空應用設備制造,集研發、生產和銷售于一體的民營高科技企業。主營產品:真空設備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統,非標真空設備,真空標準件以及真空設備的維護保養。
工作條件:
①檢漏儀要工作必須使檢漏儀內部真空系統正常工作,因此檢漏儀機械泵8、分子泵1 和電磁閥V1 串聯工作,達到質譜室所需要的高真空,滿足離子源可靠工作時即達到檢漏儀工作條件,即我們所說的自檢通過。
②滿足檢漏口14 達到1000 Pa 以下,由于真空自耗電弧爐容積約2~3m3,因此無法使用檢漏儀自身的真空泵進行爐室抽空,必須使用電弧爐的真空系統作為檢漏儀的輔助系統對其抽空,從而滿足檢漏口1000 Pa 以下的使用要求。
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旋片真空泵
深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設有售后辦事處。因此使用真空泵時必須注意下列幾點:在蒸餾系統和真空泵之間,必須裝有吸收裝置。是一家專門從事各種真空應用設備制造,集研發、生產和銷售于一體的民營高科技企業。主營產品:真空設備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統,非標真空設備,真空標準件以及真空設備的維護保養。
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⑴真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。有時為了真空系統管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。⑵了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。⑶真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。⑷正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對ya有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。⑸真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。⑹正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2BV系列水環真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。⑺真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。⑻真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,hao能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。
干式真空泵
深圳銳誠真空技術有限公司座落于廣東深圳,在北京、浙江設有售后辦事處。在國外,液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,僅次于干泵,由于液環泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動密集型產品,所以國產液環泵在價格上有競爭優勢,關鍵是要改進設計,縮小體積,減輕重量,提高xiao率,降低能耗。是一家專門從事各種真空應用設備制造,集研發、生產和銷售于一體的民營高科技企業。主營產品:真空設備,檢漏儀,微水儀,lng抽真空系統,非標真空設備,真空標準件以及真空設備的維護保養。
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干式機械真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:
1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;
4)在化學工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有ji溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
