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              正性光刻膠價格性價比出眾「多圖」

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              發布時間:2020-11-04 12:17  






              光刻膠的作用

              光刻開始于-種稱作光刻膠的感光性液體的應用。 圖形能被映射到光刻膠上,然后用一個developer就能做出需 要的模板圖案。光刻膠又稱光致抗蝕劑,是以智能

              管感光材料,在光的照射與溶解度發生變化。

              光刻膠成份

              光刻膠通常有三種成分:感光化臺物、基體材料和溶劑。在感光化臺物中有時還包括增感劑。根據光刻膠按照如何響應紫外光的特性可以分為兩類:負性光刻膠和

              正性光刻膠。

              1、負性光刻膠

              主要有聚酸系(聚酯膠)和環化橡膠系兩大類

              2、正性光刻膠

              主要以重氮醒為感光化臺物,以酚醛樹脂為基體材料。正膠的主要優點是分辨率高,缺點是靈敏度、耐刻蝕性和附著性等較差。

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              何為光刻膠

              光刻膠又稱光致抗蝕劑,是一種具有光化學敏感性的功能性化學材料,由光引發劑、光刻膠樹脂、單體(活性稀釋劑)、溶劑和其他助劑組成的對光敏感的混合液體,其中,樹脂約占50%,單體約占35%。

              它被稱為是電子化工材料中技術壁壘較高的材料之一,主要利用光化學反應將所需要的微細圖形從掩模版轉移到待加工基片上,被廣泛應用于光電信息產業的微細圖形線路的加工制作,下游主要用于集成電路、面板和分立器件的微細加工,同時在 LED、光伏、磁頭及精密傳感器等制作過程中也有廣泛應用。

              按照下游應用,光刻膠可分為半導體用光刻膠、LCD用光刻膠、PCB(印刷線路板)用光刻膠等,其技術壁壘依次降低。

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              為什么現在還有人使用負性膠

              劃分光刻膠的一個基本的類別是它的極性。光刻膠在曝光之后,被浸入顯影溶液中。在顯影過程中,正性光刻膠曝過光的區域溶解得要快得多。理想情況下,未曝光的區域保持不變。負性光刻膠正好相反,在顯影劑中未曝光的區域將溶解,而曝光的區域被保留。正性膠的分辨力往往是較好的,因此在IC制造中的應用更為普及,但MEMS系統中,由于加工要求相對較低,光刻膠需求量大,負性膠仍有應用市場。

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              光刻膠的作用有什么?

              光刻是將圖形由掩膜版上轉移到硅片上,為后續的刻蝕步驟作準備。在光刻過程中,需在硅片上涂一層光刻膠,經紫外線曝光后,光刻膠的化學性質發生變化,在通過顯影后,被曝光的光刻膠將被去除,從而實現將電路圖形由掩膜版轉移到光刻膠上。再經過刻蝕過程,實現電路圖形由光刻膠轉移到硅片上。在刻蝕過程中,光刻膠起防腐蝕的保護作用。



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