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發布時間:2020-11-13 11:20  





什么是蒸發鍍膜?
蒸發鍍膜常稱真空鍍膜。
其特點是在真空條件下,材料蒸發并在玻璃表面上凝結成膜,再經高溫熱處理后,在玻璃表面形成附著力很強的膜層。有70 多種元素、50 多種無機化合物材料和多種合金材料可供選擇。Parylene在傳感器領域中的應用,除了作絕緣介質外,更多用作防護材料,它能耐酸、堿和溶劑,對水汽和鹽霧等惡劣環境有較好的阻隔防護能力,用極薄的涂層提供良好的防護。PVD工藝的首要條件是在真空條件下操作,因為限量以上的殘余氣體會影響膜的成分和性質。為了實現鍍膜工藝,要求殘余氣體的壓力為0.1~1Pa。
ZF350有機無機聯合制備:采用3~4組蒸發源可兼容金屬、有機物蒸發。控溫精度±1℃,可以實現溫度或電流補償實現蒸鍍速率穩定的功能4。廣泛應用于高校材料、物理、化學、電子、能源等相關學科以及科研院所制備高質量功能薄膜、蒸鍍電極等,特別適合OPV/鈣鈦礦/無機薄膜太陽能電池、半導體、有機EL、OLED顯示研究與開發領域。
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鈣鈦礦鍍膜設備
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設備用途 :
適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產前的試驗工作。廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領域
設備組成:
該設備主要由沉積室、真空排氣系統、真空測量、蒸發源、樣品加熱、電控系統、等部分組成。
1、鍍膜室:方形前后開門結構,內帶有防污板。
2、真空度:鍍膜室的極限真空≤5×10-5Pa;
3、蒸發源系統:有機源蒸發源4個,無機蒸發源2套
4、樣品架系統:樣品大小為Φ150mm的樣品,旋轉速度為:0~30轉/分;
5、樣品在鍍膜過程中,可烘烤加熱,加熱溫度為:室溫~190℃,測溫控溫。
6、膜厚控制儀:測量范圍0-999999?
鈣鈦礦蒸發鍍膜機的特點
1、樣品位于真空室上方,蒸發源位于真空室下方,向上蒸發鍍膜,且蒸發源帶有擋板裝置。</span>
2、設有烘烤加熱功能,可在鍍膜過程中加熱樣品,烘烤加熱溫度可達180℃。
3、設有斷水、斷電連鎖保護報警裝置及防誤操作保護報警裝置。
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