壓縮機氦檢漏設備專業團隊在線服務“本信息長期有效”

氦氣檢漏的基本功能（部分功能可選配）

1、對被檢工件充注高壓氮氣或壓縮空氣進行耐壓強度和大漏氣密性檢驗；

2、對被檢工件抽真空；

3、對被檢工件充注氦氣；

4、真空箱法氦質譜檢測，自動判斷工件漏率合格與不合格；

5、回收并循環使用氦氣；

6、如果氦氣浪費嚴重，可以將使用過程中濃度不合格的氦氣進行提純

7、PLC控制，觸摸屏操作，自動檢測。

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氦質譜檢漏常見問題

氦質譜檢漏儀是現在比較常用的檢測儀器，那么在使用過程中我們又遇到哪些問題呢？今天科創鼎新的小編就和大家來一起總結一下！

一、為什么用氦氣作為示蹤氣體？其他氣體可以嗎？（1）在空氣中含量低(只有5 ppm)，環境本底低

（2）惰性氣體不易1燃，不易1爆對環境沒有污染，不與其他物質反應，可以混合到任意濃度

（3）無毒，可以用在食品工業

（4）在質譜儀譜圖中易于與其他物質區分

（5）比空氣輕，運動速度快

（6）氣體分子很小，可以穿過微小的泄漏孔

（7）其它氣體也可以

二、噴氦檢漏的注意事項。

（1）被測系統應盡量清潔，干燥，無油

（2）如果測量條件發生變化（溫度），需要重新對檢漏儀做內部較準

（3）氦氣比空氣輕，噴氦法檢漏應注意方向

（4）盡量不要使用密封脂（油脂會大量吸附氦氣）

（5）不要向環境釋放大量氦氣

（6）真實的漏率信號應當是快速上升的信號，相對緩慢下降的信號

三、漏率（leak rate）

在已知漏泄處兩側壓差的情況下，單位時間內流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。

注：采用國際單位制時，漏率單位為：Pa?m3/s。

科創真空擁有先進的技術，我們都以質量為本，信譽高，我們竭誠歡迎廣大的顧客來公司洽談業務。如果您對氦檢漏感興趣，歡迎點擊左右兩側的在線客服，或撥打咨詢電話。

真空箱式氦檢漏設備【驗收標準】

由于真空箱式氦檢漏系統是比較專業的設備，所以需要用戶進行驗收，以免后期使用過程中產生問題，難以解決。首先是設備在運往用戶工廠后根據技術協議逐條驗收，之后進行操作、維修等技術培訓，驗收合格后雙方簽字生效。2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。然后需方收到設備后應及時對設備進行驗收，以免延期因保管出現的產品質量問題。需要注意系統調試需要用測試工件。

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氦質譜檢漏儀的基本原理與結構

氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源，質量分析器和離子檢測器;真空系統-般由分子泵機械泵、電磁閥和真空計組成。系統自動記錄、存儲抽真空、充氦、氦檢過程中的工件和真空箱的壓力變化情況。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。子檢測器的作用是手機質星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過比對運算，得出泄漏率

真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空，同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入?？障到y-般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。然后將被檢工件內的氦氣回收循環使用，向工件內充入規定壓力的SF6工作氣體。按照真空系統的不同結構，檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏，氦氣是逆擴散到質譜管,不會對系統有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主品。

機械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會有油霧排出,污染工作環境，干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。