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發布時間:2021-07-24 08:17  





分子真空泵(簡稱分子泵)是1913年是德國人蓋得(W.Gaede)首先發明的。他又以氣體的外摩擦作用為分子泵奠定了理論基礎。雖然分子泵是一種機械泵,但它已經擺脫了那種靠容積變化來抽氣的容積泵原理,而是靠高速運動的剛體表面來攜帶氣體分子實現抽氣的一種新型機械真空泵。通常把高速剛體表面攜帶氣體分子按一定方向運動的現象成為分子牽引,或稱為氣體的外摩擦輸運現象。因此,人們把蓋得發明的分子泵稱為牽引分子泵。這種泵具有啟動時間短,抽重氣體比抽輕氣體快等一系列優點。但由于它的密封間隙小,容易引起機械故障以及加工精度要求高等,除特殊需要外,實際上很少應用,曾有些人做過不少改進,出現過幾種不同類型的牽引分子泵,但因為抽速低沒有推廣應用,曾一度被結構簡單的擴散泵所代替。
結構簡單,制造精度要求不高,容易加工。
結構緊湊,泵的轉數較高,一般可與電動機直聯,無須減速裝置。故用小的結構尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。
壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮氣體過程溫度變化很小。
由于泵腔內沒有金屬磨擦表面,無須對泵內進行潤滑,而且磨損很小。轉動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。
吸氣均勻,工作平穩可靠,操作簡單,維修方便。
水環式真空泵的泵體中配有適當的水,做為切削液。當水被離心葉輪拋到四周,因為向心力的功效,水產生了一個決策于泵腔樣子的近似于等薄厚的封閉式圓形。這時候,水環的上一部分內表層正好與離心葉輪輪圈相交,水環的下邊內表層恰好與葉子頂部觸碰,離心葉輪的輪圈與水環中間產生了一個相近月牙的室內空間,這一室內空間又被離心葉輪分為葉子數量相同的數個小腔。
離心葉輪在轉動前,小腔的容量由小增大,且與端表面的呼吸口互通,汽體吸進去。當呼吸終結時小腔則與呼吸口阻隔;當離心葉輪再次轉動時,小腔則由大縮小,汽體便會被縮小;當小腔與排氣管互通時,汽體則會被排出來泵外。